[实用新型]一种样品翻转装置

说明书

本实用新型涉及样品操控技术领域，具体而言，涉及一种样品翻转装置。本实用新型通过直接将样品翻转装置插入现有样品台，将样品固定在本实用新型的样品翻转装置上，通过现有腔体上的机械手旋转第一螺栓，翻转板在支撑弹簧的作用下进行翻转，从而实现样品的翻转，翻转角度可达±5°。本实用新型中的样品翻转装置具有体积小的特点，可直接通过CF35法兰传入腔体中。同时，还具有成本低，不用对现有超高真空系统进行改动即可使用的特点。

技术领域

本实用新型涉及样品操控技术领域，具体而言，涉及一种样品翻转装置。

背景技术

样品的分析与表征是凝聚态物理学和材料学等学科的基础。为了排除复杂环境对样品表面的干扰，需要在超高真空腔体中原位地对样品进行表面表征、结构分析和元素分析，进而全面地获得样品的物化性质。一般地，需通过低能电子衍射谱(LEED)，反射式高能电子衍射谱(RHEED)，X射线吸收谱(XPS)等光电子能谱对样品结构进行表征。然而，为了保证采样的信噪比，上述实验技术手段对样品与入射光子或电子的夹角要求很高。因此需要可多轴旋转的超高真空兼容样品台。但目前商业化的超高真空兼容的可多轴旋转的样品台结构复杂，成本很高，并且一般无法在现有样品台上直接集成以达到翻转样品的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种样品翻转装置，以改善上述问题。为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

本申请提供一种样品翻转装置，包括支撑托、翻转板、第一螺栓和支撑弹簧；所述翻转板上设置有样品，所述翻转板设置在所述支撑托上，所述翻转板一端与所述支撑托铰接，另一端设置有第二通孔；所述第一螺栓穿过所述第二通孔后，与所述支撑托螺纹连接；所述支撑弹簧设置在所述支撑托与所述翻转板之间，所述支撑弹簧的一端与所述支撑托接触，另一端与所述翻转板接触。

可选地，所述支撑托包括样品托，所述样品托上设置有连接块，所述连接块上设置有第一通孔，所述第一通孔横向设置；所述翻转板的下表面上设置有第一耳板和第二耳板，所述第一耳板和所述第二耳板平行设置，所述第一耳板上设置有第三通孔，所述第二耳板上设置有第二螺纹孔；所述第一耳板和所述第二耳板分别设置在所述连接块的两端，所述支撑托和所述翻转板通过第二螺栓铰接；所述第二螺栓依次穿过所述第三通孔和所述第一通孔后，与所述第二螺纹孔螺纹连接。

可选地，所述第一耳板与所述连接块之间，和所述第二耳板与所述连接块之间，均设置有垫片。

可选地，所述垫片为蓝宝石垫片。

可选地，所述支撑托包括样品托，所述样品托上设置有连接块，所述连接块的上表面设置有弹簧固定孔；所述翻转板的下表面设置有弹簧固定凸起，所述支撑弹簧设置在所述弹簧固定孔中，且所述支撑弹簧的顶部套设在所述弹簧固定凸起上。

可选地，所述第一螺栓的顶部设置有机械手适配板。

可选地，所述翻转板的上表面两端分别设置有第一卡块和第二卡块，所述第一卡块上设置有固定样品的第二夹具，所述第二卡块上设置有固定样品的第一夹具。

可选地，所述第一夹具包括第一样品导轨和第一样品卡簧，所述第一样品导轨和所述第一样品卡簧均设置在所述第二卡块的上方，所述第一样品导轨和所述第一样品卡簧均通过第三螺栓与所述第二卡块可拆卸相连；所述第二夹具包括第二样品导轨和第二样品卡簧，所述第二样品导轨和所述第二样品卡簧均设置在所述第一卡块的上方，所述所述第二样品导轨和所述第二样品卡簧均通过第四螺栓与所述第一卡块可拆卸相连。

可选地，所述第二通孔设置在所述第二卡块上，所述支撑托包括样品托，所述样品托上设置有连接块，所述第二通孔的正下方的所述连接块上设置有第一螺纹孔，所述第一螺栓穿过所述第二通孔后，与所述第一螺纹孔螺纹连接。