[实用新型]一种具有通用功能的晶圆片涂布机

权利要求书

1.一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：包括容纳架(2)，所述容纳架(2)上设置有第一放置支架(26)和第二放置支架(27)，所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)之间形成用于放置晶圆片的放置空间；所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)均水平滑动设置在容纳架(2)上，所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)的滑动方向相反。

2.根据权利要求1所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述容纳架(2)上设置有第一输送辊(28)和第二输送辊(29)，所述第一输送辊(28)和第二输送辊(29)的中心轴均沿竖直方向设置，所述第一输送辊(28)的中心处连接有输送电机(281)；所述第一输送辊(28)和第二输送辊(29)之间设置有输送皮带(291)；所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)分别与输送皮带(291)相对设置的两侧连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述第一放置支架(26)由第一水平部(262)和第一竖直部(263)组成，所述第一水平部(262)与第一竖直部(263)相互垂直设置，所述第一竖直部(263)位于第一水平部(262)远离第二放置支架(27)的一侧；所述第二放置支架(27)由第二水平部(272)和第二竖直部(273)组成，所述第二水平部(272)与第二竖直部(273)相互垂直设置，所述第二竖直部(273)位于第二水平部(272)远离第一放置支架(26)的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述容纳架(2)的一侧设置有放置架(1)，所述放置架(1)上设置有放置平台(12)；所述放置平台(12)上可拆卸连接有放置盒，所述放置平台(12)上设置有若干卡块(18)，若干所述卡块(18)与放置盒卡接。

5.根据权利要求4所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述第一水平部(262)靠近放置架(1)的一端由低到高倾斜设置，所述第二水平部(272)靠近放置架(1)的一端由低到高倾斜设置。

6.根据权利要求4所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述放置架(1)的一侧设置有电动夹爪(22)，所述电动夹爪(22)用于将放置盒内的晶圆片夹持到第一放置支架(26)和第二放置支架(27)之间。

7.根据权利要求6所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述放置平台(12)的底端沿竖直方向设置有电缸(19)，所述电缸(19)的滑台与放置平台(12)连接；所述放置架(1)的一侧设置有红外传感器(21)，所述放置架(1)的一侧设置有PLC控制器(4)，所述PLC控制器(4)与电缸(19)、电动夹爪(22)和红外传感器(21)连接。

8.根据权利要求7所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述容纳架(2)上设置有第一传送辊(23)和第二传送辊(24)，所述第一传送辊(23)和第二传送辊(24)之间设置有传送皮带(242)；所述第一传送辊(23)或第二传送辊(24)的中心处连接有转动电机(241)，所述传送皮带(242)与电动夹爪(22)固定连接，所述PLC控制器(4)与转动电机(241)连接。