[实用新型]一种用于曝光光源的冷却系统

说明书

本实用新型公开了一种用于曝光光源的冷却系统，包括壳体、液冷散热板、电路安装板和散热风扇；所述壳体内设有进风口和排风口；所述液冷散热板设置于所述壳体内，其内均匀布满有冷却流道，前部设有分别与所述冷却流道首尾相接的进液口和回液口，上部设有用于安装LED灯板的安装孔；所述电路安装板设置于所述液冷散热板的下部，用于安装电路模块；所述散热风扇设置于所述壳体内，用于提供负压，使得外界风能从所述进风口进入，并从排风口排出；本实用新型通过设有液冷散热板、电路安装板和散热风扇，LED灯板安装于液冷散热板的上部，电路安装板安装于液冷散热板的下部，通过冷却液的循环同时对灯板和电路进行热交换，具有散热性能好的优点。

技术领域

本实用新型涉及光学设备散热系统技术领域，特别涉及一种用于曝光光源的冷却系统。

背景技术

紫外曝光机，是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备。随着大规模集成电路器件集成度的提高，光刻工作分辨力要求愈来愈高，而除了要求曝光机的整体机构系统精度和稳定性必须保证外，对曝光系统的曝光光源的要求就越来越高。现有的曝光光源的散热采用散热鳍片配合风冷进行散热，而随着复合波段曝光光源的诞生，光源设备中的控制电路板和LED灯珠的发热量也随之增加，现有的冷却系统已不能满足要求。因此，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种用于曝光光源的冷却系统，以解决上述问题。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种用于曝光光源的冷却系统，包括壳体、液冷散热板、电路安装板和散热风扇；所述壳体内设有进风口和排风口；所述液冷散热板设置于所述壳体内，其内均匀布满有冷却流道，前部设有分别与所述冷却流道首尾相接的进液口和回液口，上部设有用于安装LED灯板的安装孔；所述电路安装板设置于所述液冷散热板的下部，用于安装电路模块；所述散热风扇设置于所述壳体内，用于提供负压，使得外界风能从所述进风口进入，并从排风口排出。

进一步地，所述壳体包括外侧壳体和板体支架；所述板体支架设置于所述外侧壳体内左右内壁。

进一步地，所述进液口和所述回液口贯穿出所述外侧壳体的前端。

进一步地，所述进风口设置于所述外侧壳体的左右两端；所述排风口设置于所述外侧壳体的后端。

进一步地，所述液冷散热板设置于所述板体支架的上部。

进一步地，所述液冷散热板的下部设有拼接凹槽；所述拼接凹槽与所述冷却流道相连接。

进一步地，所述电路安装板的形状与所述拼接凹槽相契合。

本实用新型的有益效果在于，散热性能好，占用体积小，保障工作稳定性；本实用新型通过设有液冷散热板、电路安装板和散热风扇，LED灯板安装于液冷散热板的上部，电路安装板安装于液冷散热板的下部，通过冷却液的循环同时对灯板和电路进行热交换，具有散热性能好的优点；且电路安装板契合设置于拼接凹槽内，用于安装电路模块，在契合安装后，电路安装板与液冷散热板组成一体，能缩小整体体积，并提高导热性能；电路模块一方面能通过电路安装板进行热交换，另一方面能通过进风口、排风口和散热风扇组成的风冷渠道进行热交换，进一步提高散热性能，保障电路模块的工作稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的爆炸结构示意图；

图3为本实用新型的俯视局部结构示意图；

图4为本实用新型的液冷散热板的结构示意图；

图5为本实用新型的仰视局部结构示意图。