[实用新型]一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊

权利要求书

1.一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其特征在于,包括两个水平安装在真空镀膜设备出料端上的安装板(2)，两个所述安装板(2)上沿其长度方向阵列水平转动连接有多个传送辊(1)，两个所述安装板(2)上通过安装支板水平安装有位于传送辊(1)上的、且长度方向与传送辊(1)轴向平行的安装座(9)，所述安装座(9)底面水平设有一连接板(11)，所述连接板(11)远离安装座(9)一端竖直连接有连接杆(5)，所述连接杆(5)下端水平设有长度方向与传送辊(1)轴向平行的刮板(6)，所述安装座(9)长度方向两端各水平滑动连接有调节座(8)，两个所述调节座(8)下端各竖直设有安装支架(10)，两个所述安装支架(10)相对侧各竖直转动连接有纠偏轮(7)，两个所述调节座(8)由调节机构驱动其相对移动，进而使两个所述纠偏轮(7)的横向间距进行调节。

2.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其特征在于，所述纠偏轮(7)位于两个相邻的传送辊(1)之间。

3.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其特征在于，所述调节机构包括水平穿设在安装座(9)上、且与安装座(9)转动连接的调节轴，所述调节轴长度方向两端分别设有螺纹旋向相反的第一螺纹部(13)、第二螺纹部(14)，两个所述调节座(8)上各嵌装有螺套(12)，两个所述螺套(12)分别螺纹套装在第一螺纹部(13)、第二螺纹部(14)上。

4.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其特征在于，所述连接杆(5)滑配穿透连接板(11)且其上端设有限位块(3)，其上还套装有拉簧(4)，所述拉簧(4)两端分别焊接在限位块(3)及连接板(11)上。

5.根据权利要求4所述的一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其特征在于，所述连接杆(5)横截面成矩形。