[实用新型]一种坩埚及含其的中频感应电炉有效
| 申请号： | 202022252485.7 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN213273731U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 唐晓峰;王瑞平;逯琪 | 申请（专利权）人： | 上海朗亿功能材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/06 | 分类号： | F27B14/06;F27B14/10;F27B14/08 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;邹玲 |
| 地址： | 201699 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 中频 感应 电炉 | ||
1.一种坩埚，其特征在于，所述坩埚由内至外包括依次同轴贴设的锆石英层、碳化硅层和石墨层；
所述锆石英层围合形成具有一上开口的内腔室；
所述碳化硅层围合形成可供所述锆石英层嵌设的空间；
所述石墨层围合形成可供所述碳化硅层嵌设的空间；
所述锆石英层的厚度与所述碳化硅层的厚度的比值为(1.5～3)：1。
2.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述内腔室的形状为圆柱孔；
所述内腔室的直径小于等于所述内腔室的高度。
3.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述内腔室的直径与所述内腔室的高度的比值为1：(1.5～2.5)；
所述内腔室的直径小于等于400mm。
4.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述内腔室的直径与所述内腔室的高度的比值为1：1.75；
所述内腔室的直径为150～250mm。
5.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述石墨层的厚度与所述碳化硅层的厚度的比值为(1.5～3)：1。
6.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述锆石英层的厚度与所述碳化硅层的厚度的比值为2：1；
所述石墨层的厚度与所述碳化硅层的厚度的比值为2：1。
7.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述锆石英层的厚度为15～30mm。
8.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述锆石英层的厚度为20mm。
9.如权利要求1～8中任一项所述的坩埚，其特征在于，所述锆石英层、所述碳化硅层和所述石墨层的总厚度与所述内腔室的直径的比值为1：(3～4)。
10.一种中频感应电炉，其特征在于，其包含如权利要求1～9中任一项所述的坩埚。
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