[实用新型]一种具有加热媒介的薄膜沉积设备有效
| 申请号： | 202022254382.4 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN213266680U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 杨世强;蒋焕明;李海兵 | 申请（专利权）人： | 广东顺德悦田薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44577 | 代理人： | 叶晶 |
| 地址： | 528300 广东省佛山市顺德区杏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 媒介 薄膜 沉积 设备 | ||
1.一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其特征在于：包括薄膜沉积设备(100)、加热板(200)、温度传感器(300)和气体浓度传感器(400)，所述薄膜沉积设备(100)包括进气管(110)、气体喷淋头(120)和基座(130)，所述进气管(110)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的顶部，所述气体喷淋头(120)固定安装在进气管(110)的底部，所述基座(130)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的底部，所述加热板(200)固定安装在基座(130)内腔的顶部，两个所述加热板(200)内设置有加热丝(210)，所述温度传感器(300)固定安装在加热板(200)的底部，所述薄膜沉积设备(100)的底部固定安装有控制器(310)，所述薄膜沉积设备(100)的前侧壁固定安装有显示屏(320)，所述气体浓度传感器(400)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的右侧壁。
2.根据权利要求1所述的一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其特征在于：所述进气管(110)内腔的侧壁嵌入安装有控制阀(500)，所述控制阀(500)与进气管(110)内腔的侧壁通过螺栓螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其特征在于：所述薄膜沉积设备(100)的底部固定安装有支撑架(600)，所述支撑架(600)与薄膜沉积设备(100)的底部通过螺栓螺纹连接，所述支撑架(600)的底部固定安装有防滑套(610)，所述防滑套(610)与支撑架(600)的底部胶接。
4.根据权利要求1所述的一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其特征在于：所述温度传感器(300)和气体浓度传感器(400)与控制器(310)的输入端通过连接线连接，所述显示屏(320)、加热板(200)和控制阀(500)与控制器(310)的输出端通过连接线连接。
5.根据权利要求1所述的一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其特征在于：所述加热板(200)与基座(130)内腔的顶部通过螺栓螺纹连接，所述温度传感器(300)与加热板(200)的底部通过螺栓螺纹连接。
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