[实用新型]一种多线切机切割室清理系统

权利要求书

1.一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，至少具有：

一组用于清理硅片料座上方的安装仓和所述料座下方的金刚线网的喷管组件一和喷管组件二；

所述喷管组件一和所述喷管组件二均沿所述料座长度方向设置；

所述喷管组件一分别朝所述安装仓侧壁和所述金刚线网靠近槽轮一侧的上端面喷液；

所述喷管组件二朝所述金刚线网靠近所述槽轮一侧的下端面喷液；

从所述喷管组件一和所述喷管组件二喷出的液流可沿所述料座高度和/或所述金刚线网宽度而调整。

2.根据权利要求1所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷管组件一位置高于所述喷管组件二，且所述喷管组件一的长度大于所述喷管组件二的长度；所述喷管组件二的长度不小于所述金刚线网沿所述料座轴线方向的长度。

3.根据权利要求1或2所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷管组件一距离置于所述金刚线网中靠近所述槽轮的水平距离大于所述喷管组件二距离所述槽轮的水平距离。

4.根据权利要求3所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷管组件一置于所述金刚线网斜上方处设置；所述喷管组件二被置于所述金刚线网下方且靠近所述切割室侧壁一侧设置。

5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷管组件一包括沿所述料座轴线长度对称设置的喷管一，在所述喷管一上设有若干间隔且均匀分布喷孔一和喷孔二，所述喷孔一和所述喷孔二分别朝所述安装仓和所述金刚线网倾斜设置。

6.根据权利要求5所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷管组件二包括沿所述料座轴线长度对称设置的喷管二，在所述喷管二上设有若干均匀设置的喷孔三，所述喷孔三斜向上朝所述金刚线网下侧面设置。

7.根据权利要求6所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷孔三和所述喷孔二相对于所述金刚线网的高度中线对称设置，且所述喷孔三和所述喷孔二围成的夹角为锐角。

8.根据权利要求6或7所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷管一靠近所述切割室端部开仓门一侧还设有喷孔四，所述喷孔四较所述喷孔一靠近所述料座一侧设置。

9.根据权利要求8所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述喷管一和所述喷管二连通设置；所述喷孔一和所述喷孔四同步或交替喷液；所述喷孔二和所述喷孔三同步或交替喷液。

10.根据权利要求1-2、4、6-7、9任一项所述的一种多线切机切割室清理系统，其特征在于，所述切割室内侧顶壁设有防护板，所述防护板对称设置于所述安装仓两侧，且所述喷管组件一的喷射最高水位低于所述防护板位置。