[实用新型]一种硅片干燥装置及制绒机

权利要求书

1.一种硅片干燥装置，其特征在于，包括：

安装横梁(1)，其上设置有吹气通道(11)，所述吹气通道(11)与供气装置连通；

吹气管(2)，设置于所述安装横梁(1)上，所述吹气管(2)与所述吹气通道(11)连通，所述吹气管(2)上设置有与所述吹气通道(11)连通的吹气孔(21)；

移动组件，与所述安装横梁(1)连接，所述移动组件能够驱动所述吹气管(2)移动，使所述吹气孔(21)能正对硅片(100)的表面吹气。

2.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述吹气管(2)设置有多个，多个所述吹气管(2)平行间隔设置于所述安装横梁(1)上。

3.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述移动组件能够驱动所述吹气管(2)伸入相邻两个所述硅片(100)之间，所述吹气孔(21)贯穿所述吹气管(2)设置。

4.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述吹气管(2)上沿其轴线方向设置有多个所述吹气孔(21)。

5.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述吹气管(2)的直径为1.8mm-2.2mm，所述吹气孔(21)的直径为0.8mm-1.2mm。

6.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述吹气通道(11)与所述供气装置之间设置有电磁阀。

7.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述移动组件包括：

第一移动块(31)，所述安装横梁(1)设置于所述第一移动块(31)上；

第一驱动件，能驱动所述第一移动块(31)沿所述吹气管(2)的延伸方向移动。

8.根据权利要求7所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述移动组件还包括：

第二移动块(32)，所述第一驱动件置于所述第二移动块(32)上；

第二驱动件，所述第二驱动件能驱动所述第二移动块(32)沿第一方向移动；

第三移动块(33)，所述第二驱动件置于所述第三移动块(33)上；

第三驱动件，所述第三驱动件能驱动所述第三移动块(33)沿第二方向移动；

所述第一方向与所述第二方向为水平面内呈夹角设置的两方向。

9.根据权利要求8所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直设置。

10.一种制绒机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的硅片干燥装置。