[实用新型]一种激光振镜光路系统

说明书

本实用新型关于一种激光振镜光路系统，设置于一壳体内，包括：入射光线孔、出射光线孔、第一振镜部，包括第一电机和第一扫描镜；第一扫描镜镜面与出射光线孔所在面之间的夹角介于30°～60°之间；第一扫描镜用于接收从入射光线孔射入的激光光线，并对该激光光线进行反射；第二振镜部，包括第二电机和第二扫描镜；第二扫描镜镜面与出射光线孔所在面之间的夹角介于30°～60°之间；第二扫描镜用于接收经第一扫描镜反射的激光光线，并将该激光光线从出射光线孔反射出去。本实用新型能减少能量损失，简化光路，而且能够减少激光振镜的安装体积；以及降低该激光振镜对安装位置的要求，从而利于扩展激光振镜的使用场景。

技术领域

本实用新型实施例涉及激光振镜技术领域，尤其涉及一种激光振镜光路系统。

背景技术

振镜又称高速扫描振镜，是一种精度高、速度快、重复性好的光学扫描器，主要用于激光打标、激光打孔、激光刻蚀等激光加工领域，在医疗检测、图像处理以及半导体加工等领域也广泛应用。

在激光振镜技术领域，现有的光路方案有两种，而应用最为广泛的是垂直光路，垂直光路指的是入射光线经过振镜光路系统后出射光线方向与入射光线方向垂直；该种垂直光路结构，因激光器的出射激光方向与从振镜光路系统出射的激光方向是垂直的，安装时，激光器的方向与工作面的方向是垂直的，安装面积大，使用条件要求高，限制了激光振镜的使用场景。

另外一种方案是三镜片反射光路系统，具体是指在光路中加入一个固定反射镜，入射光线先到达固定反射镜，再进入振镜光路系统，形成与入射光线同向的出射光线。例如，在申请号为201320025409.X，名称为入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统的专利中，振镜光路系统包括激光振镜壳体、第一电机和第二电机，第一电机上安装有大镜片，第二电机上安装有小镜片，激光振镜壳体内壁上设有固定反射镜片，激光振镜壳体上设有入射光线孔和出射光线孔，出射光线孔上安装有F-Theta聚焦镜；第一电机与激光振镜壳体底面呈-5°～5°的夹角，大镜片与激光振镜壳体底面呈25°～65°的夹角，第二电机与激光振镜壳体底面呈70°～80°的夹角，小镜片与激光振镜壳体未设置入射光线孔或出射光线孔的侧面呈30°～60°的夹角，固定反射镜片激光振镜壳体底面呈40°～50°的夹角。该振镜光路系统为了使出射光线与入射光线同向，在光路中增加了固定反射镜，复杂了光路，增大了设备体积，增加了系统的安装误差，会造成激光束能量的损失，并且出射激光光线方向单一。

因此，有必要改善上述相关技术方案中存在的一个或者多个问题。

需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本实用新型的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种激光振镜光路系统，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种激光振镜光路系统，设置于一壳体内，该系统包括：

入射光线孔，设置于所述壳体一侧面；

出射光线孔，设置于与所述入射光线孔相对的所述壳体的另一侧面；

第一振镜部，包括第一电机和第一扫描镜；

所述第一扫描镜设置于所述第一电机的端部，且该第一扫描镜镜面与所述出射光线孔所在面之间的夹角介于30°～60°之间；所述第一扫描镜用于接收从所述入射光线孔射入的激光光线，并对该激光光线进行反射；

第二振镜部，包括第二电机和第二扫描镜；

所述第二扫描镜设置于所述第二电机的端部，且该第二扫描镜镜面与所述出射光线孔所在面之间的夹角介于30°～60°之间；所述第二扫描镜用于接收经所述第一扫描镜反射的所述激光光线，并将该激光光线从所述出射光线孔反射出去；