[实用新型]一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备

权利要求书

1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括蒸镀箱(1)，其特征在于，所述蒸镀箱(1)底端的四个边角均固定设有支撑座(2)，所述蒸镀箱(1)的正面设有箱门(3)，所述蒸镀箱(1)的中部固定设有隔热板(6)，所述蒸镀箱(1)内部的底端固定设有蒸发源(14)，所述蒸镀箱(1)内部的底端一侧固定设有两个第一支撑架(4)，两个所述第一支撑架(4)之间转动连接有薄膜卷(5)，所述蒸镀箱(1)的顶端内壁固定设有清洁组件(13)，所述隔热板(6)顶端的一侧固定设有第二支撑架(9)，所述第二支撑架(9)的顶端转动连接有薄膜收卷筒(10)，所述蒸镀箱(1)背面的一侧固定设有驱动电机(12)，所述驱动电机(12)的传动轴与薄膜收卷筒(10)的一端卡合连接，所述蒸镀箱(1)顶端的一侧固定设有排气管(18)，所述排气管(18)的中部固定设有电磁阀(19)，所述蒸镀箱(1)一侧的顶部固定设有温度检测器(20)，所述温度检测器(20)的检测探头固定设置在所述蒸镀箱(1)的内壁，所述蒸镀箱(1)顶端的中部固定设有提手(24)，所述蒸镀箱(1)另一侧的底端固定设有与蒸镀箱(1)内部相连通的真空管(22)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述清洁组件(13)包括三个连接筒(131)和清洁辊(135)，三个所述连接筒(131)分别固定设置在所述蒸镀箱(1)的顶端内壁，三个所述连接筒(131)的内壁均通过连接弹簧(132)固定连接有移动块(133)，三个所述移动块(133)的底端均固定设有连接杆(134)，所述清洁辊(135)固定设置在三个所述连接杆(134)的底端，所述清洁辊(135)的表面固定设有清洁海绵(136)。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述隔热板(6)的内壁固定设有隔热层(15)，且所述隔热板(6)的内部填充有聚氨酯填充物(16)。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述隔热板(6)的一侧开设有穿槽(7)，所述穿槽(7)的内壁固定设有橡胶密封圈(8)。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述驱动电机(12)的传动轴固定设有矩形卡块(23)，所述薄膜收卷筒(10)的一端开设有与所述矩形卡块(23)相卡合的矩形卡槽(11)。

6.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱(1)的内部固定设有两个转向辊(17)。

7.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱(1)一侧的底部固定设有开关面板(21)，所述开关面板(21)的表面分别设有蒸发源开关、驱动电机开关和电磁阀开关，所述蒸发源(14)、驱动电机(12)和电磁阀(19)分别通过蒸发源开关、驱动电机开关和电磁阀开关与电源电性连接。