[实用新型]一种基于热电堆的设备的自检系统及自检电路有效
申请号: | 202022272695.2 | 申请日: | 2020-10-13 |
公开(公告)号: | CN214375033U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 凌方舟;刘尧;蒋乐跃;储莉玲 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(天津)有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R31/28;G01M3/26 |
代理公司: | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人: | 朱亦倩 |
地址: | 300450 天津市滨海新区临港经济区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 热电 设备 自检 系统 电路 | ||
本实用新型提供一种基于热电堆的设备的自检系统及自检电路,自检电路包括:电源控制电路,其被配置为施加电压或者电流激励通过热电堆,并在热电堆的温度升高到预设温度时,关闭对热电堆的激励;电压测量电路,其被配置为在电源控制电路关闭对热电堆的激励时,测量热电堆的输出电压的变化曲线;信号处理电路,其被配置为基于热电堆的输出电压的变化曲线计算出热电堆的降温响应时间;基于降温响应时间判定基于热电堆的设备是否合格。与现有技术相比,本实用新型在自检模式时,提供电压或者电流激励通过热电堆以使其升温,并通过记录和计算出热电堆的降温的响应时间来实现自检的功能,判断芯片的状态。
【技术领域】
本实用新型涉及MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)器件领域,尤其涉及一种基于热电堆的设备的自检系统及自检电路。
【背景技术】
红外传感器生产和使用过程中,不可避免的会有不良器件产生,为了能够方便的、及时的发现问题,保证红外测试的准确性,红外传感器应该具备自我检测功能。通常的技术方案,有的需要额外设置专用于自检的发热单元来产生激励,占据了宝贵的敏感区域面积。有的则需要传感器热电堆分区加热后,相互测量输出的绝对值。上述方法能够起到一定程度的检测作用,但无法测试和分辨到诸如刻蚀是否干净,封装是否漏气,气体成分是否正确等重要的失效模式。
因此,有必要提出一种新技术方案来克服上述问题。
【实用新型内容】
本实用新型的目的之一在于提供一种基于热电堆的设备的自检系统及自检电路,其无需额外设置专门的发热单元,就可以实现对基于热电堆的设备的自检。
根据本实用新型的第一个方面,本实用新型提供一种基于热电堆的设备的自检电路,其包括:电源控制电路,其被配置为在进入自检模式时施加电压或者电流激励通过热电堆,以使所述热电堆升温,并在所述热电堆的温度升高到预设温度时,关闭对所述热电堆的激励;电压测量电路,其被配置为在所述电源控制电路关闭对所述热电堆的激励时,测量所述热电堆的输出电压的变化曲线;信号处理电路,其被配置为基于所述热电堆的输出电压的变化曲线计算出所述热电堆的降温响应时间;其还被配置为基于所述降温响应时间判定所述基于热电堆的设备是否合格。
根据本实用新型的第二个方面,本实用新型提供一种基于热电堆的设备的自检系统,其包括:基于热电堆的设备和自检电路,所述自检电路包括:电源控制电路,其被配置为在进入自检模式时施加电压或者电流激励通过热电堆,以使所述热电堆升温,并在所述热电堆的温度升高到预设温度时,关闭对所述热电堆的激励;电压测量电路,其被配置为在所述电源控制电路关闭对所述热电堆的激励时,测量所述热电堆的输出电压的变化曲线;信号处理电路,其被配置为基于所述热电堆的输出电压的变化曲线计算出所述热电堆的降温响应时间;其还被配置为基于所述降温响应时间判定所述基于热电堆的设备是否合格。
与现有技术相比,本实用新型在自检模式时,提供电压或者电流激励通过热电堆以使其升温,并通过记录和计算出热电堆的降温的响应时间来实现自检的功能,判断芯片的状态。
【附图说明】
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。其中:
图1为本实用新型在一个实施例中的一种基于热电堆的设备的自检系统的电路示意图;
图2为本实用新型在一个实施例中如图1所示的自检电路的自检方法的流程示意图;
图3为本实用新型在一个实施例中如图1所示的电压测量电路测量出的典型的热电堆的自检输出曲线;
图4为一种典型的热电堆红外传感器的俯视图。
【具体实施方式】
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