[实用新型]一种适用于重力仪传感器的真空装置

权利要求书

1.一种适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，包括基座和分别安装在基座上的压力传感器、密封罩、抽气部件和过真空导线，其中，所述密封罩罩扣固定在基座上并通过扁平密封垫进行密封形成真空室，密封罩的内壁经过镜面抛光。

2.根据权利要求1所述的适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，所述过真空导线包括互相粘接的不锈钢底座和镀银导线，镀银导线穿设于不锈钢底座，不锈钢底座通过不锈钢螺纹压圈压紧固定在基座上，镀银导线一端连接真空室，另一端连接重力仪传感器。

3.根据权利要求2所述的适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，所述不锈钢底座和镀银导线粘接的粘接面还经过脱脂和烘烤处理，所述脱脂是使用硫酸和盐酸依次浸泡。

4.根据权利要求2所述的适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，所述过真空导线为2根，每根过真空导线包括4根镀银导线。

5.根据权利要求1所述的适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，所述抽气部件包括阀座，和安装在阀座上的阀针和抽气嘴；阀座通过螺钉安装在基座上并通过O型密封圈密封，阀座内设有第一气道和第二气道，第一气道与真空室连通，第二气道与抽气嘴连通，抽气嘴与外界连通；

阀针为一体成型的针状结构，包括依次连接的针尖、凹槽、针座和连接座，连接座带外螺纹；连接座与一螺纹压圈螺纹连接，螺纹压圈又与阀座拧紧固定连接；阀针设置在第一气道和第二气道之间，第一气道设有通气孔，针尖对应封堵通气孔，针座对应封堵第二气道。

6.根据权利要求5所述的适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，所述针座位于螺纹压圈和第二气道之间的部分外周设有O型密封圈并通过凹槽限位，用于密封第一气道和第二气道之间的气体泄露。

7.根据权利要求5所述的适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，所述第一气道的通气孔外侧周边设有O型密封圈，当针尖封堵通气孔时用于密封第一气道和第二气道之间的气体外泄露。

8.根据权利要求1所述的适用于重力仪传感器的真空装置，其特征在于，所述压力传感器和过真空导线分别电连接于重力仪传感器。