[实用新型]一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统有效
| 申请号： | 202022280377.0 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN212513240U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 王彤 | 申请（专利权）人： | 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 | 代理人： | 丁剑 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd 涂层 设备 气体 质量 流量计 校准 系统 | ||
1.一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路(1)与第二气体支路(2)，其特征在于：所述第一气体支路(1)的内部包含有第一气体浮子流量计(3)、第一气体质量流量计(4)与第一气动波纹阀(5)，所述第二气体支路(2)的内部包含有第二气体浮子流量计(6)、第二气体质量流量计(7)与第二气动波纹阀(8)，所述第一气动波纹阀(5)的底部固定连接有气体汇流排(9)，所述气体汇流排(9)的右侧端固定安装有汇流排出口气动波纹阀(10)，所述汇流排出口气动波纹阀(10)的右侧端固定安装有手阀(11)，所述手阀(11)的右侧端固定安装有测试罐(12)，所述测试罐(12)的右侧端固定安装有测试罐出口气动波纹阀(15)，所述测试罐出口气动波纹阀(15)的右侧端固定安装有液环真空泵(16)。
2.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，其特征在于：所述第二气动波纹阀(8)的底部固定连接有气体汇流排(9)。
3.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，其特征在于：所述测试罐(12)的顶部分别固定连接有压力变送器(13)与热电偶(14)。
4.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，其特征在于：所述液环真空泵(16)的一侧固定安装有碱液管(17)，所述液环真空泵(16)的另一端固定安装有排空管(18)。
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