[实用新型]一种适用于碳化硅芯片的封装装置有效
申请号: | 202022282988.9 | 申请日: | 2020-10-14 |
公开(公告)号: | CN212783401U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 田李庄 | 申请(专利权)人: | 济南新芯微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 山东明宇知信知识产权代理事务所(普通合伙) 37329 | 代理人: | 钟文强 |
地址: | 250000 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 碳化硅 芯片 封装 装置 | ||
本实用新型提供一种适用于碳化硅芯片的封装装置。所述适用于碳化硅芯片的封装装置包括一侧为开口的存放盒;开合门,所述开合门铰接在所述存放盒的一侧,所述开合门与所述存放盒的开口相适配;第一密封圈,所述第一密封圈固定安装在所述开合门的一侧,所述第一密封圈与所述存放盒相适配;两个盛放台,两个所述盛放台均固定安装在所述存放盒的内壁上;两个支杆,两个所述支杆均固定安装在所述存放盒的顶部内壁与底部内壁上,所述支杆贯穿所述盛放台;四个存放槽,四个所述存放槽均开设在两个所述盛放台的顶部。本实用新型提供的适用于碳化硅芯片的封装装置具有密封效果好、保护性能较强、操作方便的优点。
技术领域
本实用新型涉及碳化硅芯片技术领域,尤其涉及一种适用于碳化硅芯片的封装装置。
背景技术
碳化硅又名碳硅石、金刚砂,是一种无机物,是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅制品可以分为很多类,根据不同的使用环境,分为不同的种类,其中碳化硅可作为高纯度的单晶,并制作出一些芯片等半导体物质,现阶段在对一些碳化硅芯片进行封装保存时,通常是直接放置在密封盒内进行保存,从而一定程度上对碳化硅芯片进行保护。
但是,传统的如密封盒类的封装装置在使用时,其上大多只设置一层密封结构,密封效果较弱,很容易导致碳化硅芯片出现氧化的现象,从而直接导致芯片损坏,带来一定的经济损失。
因此,有必要提供一种新的适用于碳化硅芯片的封装装置解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种密封效果好、保护性能较强、操作方便的适用于碳化硅芯片的封装装置。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的适用于碳化硅芯片的封装装置包括:一侧为开口的存放盒;开合门,所述开合门铰接在所述存放盒的一侧,所述开合门与所述存放盒的开口相适配;第一密封圈,所述第一密封圈固定安装在所述开合门的一侧,所述第一密封圈与所述存放盒相适配;两个盛放台,两个所述盛放台均固定安装在所述存放盒的内壁上;两个支杆,两个所述支杆均固定安装在所述存放盒的顶部内壁与底部内壁上,所述支杆贯穿所述盛放台;四个存放槽,四个所述存放槽均开设在两个所述盛放台的顶部;四个矩形环槽,四个所述矩形环槽均开设在两个所述盛放台的顶部,四个所述矩形环槽分别与四个所述存放槽相适配;传动螺杆,所述传动螺杆转动安装在所述存放盒的顶部内壁与底部内壁上,所述传动螺杆贯穿所述盛放台并与所述盛放台活动连接;两个连带板,两个所述连带板均螺纹安装在所述传动螺杆上,两个所述连带板与两个所述盛放台交错分布;四个盖罩,四个所述盖罩均固定安装在两个所述连带板的底部,四个所述盖罩分别与四个所述存放槽相适配;四个第二密封圈,四个所述第二密封圈分别固定安装在四个所述盖罩的底部,四个所述第二密封圈的底部分别延伸至四个所述矩形环槽内,所述第二密封圈与所述矩形环槽相适配;转板,所述转板设置在所述存放盒的上方;卡位机构,所述卡位机构设置在所述存放盒的顶部。
优选的,所述卡位机构包括多个卡槽、立板、抽拉杆、限位棒和弹簧,多个所述卡槽均开设在所述转板上,所述立板固定安装在所述存放盒的顶部,所述抽拉杆滑动安装在所述立板上,所述限位棒设置在对应的所述卡槽内,所述抽拉杆靠近所述转板的一端延伸至对应的所述卡槽内并与所述限位棒固定连接,所述限位棒与所述卡槽相适配,所述弹簧套设在所述抽拉杆上,所述弹簧的一端与所述限位棒固定连接,所述弹簧的另一端与所述立板固定连接。
优选的,多个所述卡槽呈环形阵列分布,所述限位棒上固定安装有加强杆,所述加强杆贯穿所述立板并与所述立板滑动连接,所述加强杆远离所述限位棒的一端固定安装有限位块,所述抽拉杆远离所述限位棒的一端固定安装有拉环。
优选的,所述传动螺杆的顶端固定安装有衔接柱,所述衔接柱的顶端与所述转板固定连接,所述转板的顶部固定安装有摇把。
优选的,所述支杆贯穿所述连带板并与所述连带板滑动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造