[实用新型]一种用于更换直线等离子体源的装置

权利要求书

1.一种用于更换直线等离子体源的装置，它包括与真空室（1）固定连接的真空室法兰（2），其特征是：它还包括等离子体源，所述等离子体源通过连接法兰与真空室法兰（2）连接，在等离子体源上设有可移动的磁体线圈（5），磁体线圈（5）采用单独供电，电流为600A时，单个线圈的最大功率为37.33kw；

所述连接法兰采用A型法兰（3a）、B型法兰（3b）或C型法兰（3c）；等离子体源采用Helical型螺旋波等离子体源（6）、蚊香型螺旋波等离子体源（7）或六硼化镧等离子体源（8），Helical型螺旋波等离子体源（6）通过A型法兰（3a）与真空室法兰（2）连接，蚊香型螺旋波等离子体源（7）通过B型法兰（3b）与真空室法兰（2）连接，六硼化镧等离子体源（8）通过C型法兰（3c）与真空室法兰（2）连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于更换直线等离子体源的装置，其特征是：所述A型法兰（3a）包含内层法兰（3a1）、石英玻璃环（3a2）和外层法兰（3a3），内层法兰（3a1）通过石英玻璃环（3a2）连接外层法兰（3a3），外层法兰（3a3）采用多个均布法兰螺栓（2a）连接真空室法兰（2），内层法兰（3a1）的内孔与插入真空室（1）中的第一等离子放电管（6a）的外圆之间设有氟橡胶密封圈（4）；所述真空室（1）的底部设有第一充气孔（1a）。

3.根据权利要求1所述的一种用于更换直线等离子体源的装置，其特征是：所述B型法兰（3b）包含石英玻璃（3b1）和法兰（3b2），石英玻璃（3b1）固定在法兰（3b2）的內侧，法兰（3b2）外侧采用多个均布法兰螺栓（2a）连接真空室法兰（2），法兰（3b2）的內孔与端部顶在石英玻璃（3b1）上的第二等离子放电管（7a）的外圆之间设有氟橡胶密封圈（4）；所述真空室（1）的底部设有第一充气孔（1a）。

4.根据权利要求1所述的一种用于更换直线等离子体源的装置，其特征是：所述C型法兰（3c）直接设置在空心筒状阳极（8a）的端部，且C型法兰（3c）采用多个均布法兰螺栓（2a）连接真空室法兰（2），C型法兰（3c）的内孔与空心筒状阳极（8a）的外圆之间设有氟橡胶密封圈（4）。