[实用新型]一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置有效
申请号: | 202022290609.0 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN213896062U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 刘朝轩 | 申请(专利权)人: | 洛阳市自动化研究所有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/32;C30B29/06 |
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地址: | 471000 河南省洛阳市高新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅芯炉 双料 盘取放料 装置 | ||
一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置,涉及人工晶体制备技术领域,本实用新型通过在籽晶夹头提拉机构(12)的两侧分别设置料盘(7),在两料盘上分别设置取料工位(2)和放料工位(8),实现了在不增大上炉室(6)直径的前提下拉制更多组硅芯的目的,即节约了硅芯炉的制造成本,又降低了硅芯炉的使用成本,同时还提高了机械手抓取籽晶夹头的准确度等,本实用新型具有结构简单,操作方便等特点,适合大范围的推广和应用。
【技术领域】
本实用新型涉及人工晶体制备技术领域,尤其涉及一种取放料装置,具体涉及一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置。
【背景技术】
已知的,现有的硅芯炉一次可以同时拉制五根硅芯,一炉次拉制三组,共计十五根硅芯,具体结构如图1所示,在上炉室6的上端面设有料盘旋转电机,所述料盘旋转电机的动力输出轴连接料盘连接轴1的上端,料盘连接轴1的下端连接料盘7,在所述料盘7的左侧设有两个取料工位2,在料盘7的右侧设有两个放料工位8,在料盘7的前部设有软轴3,所述软轴3的上端连接设置在上炉室6上端面的升降机构,软轴3的下端连接机械手4,在所述机械手4的下面设有籽晶夹头5。具体的拉制方法为在拉制前,首先在料盘7左侧的两个取料工位2上放置两套待用的籽晶夹头5,在机械手4的下面放置籽晶夹头5,然后开始对炉室进行抽真空、充氩气、加热原料棒、拉制硅芯等,硅芯在拉制过程中,需要使用籽晶进行引晶,待引晶完成后进行硅芯的拉制;在此过程中,籽晶需要通过籽晶夹头夹持,待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后,籽晶夹头带动籽晶下降直至穿过高频线圈的拉制孔插入原料棒上端的溶液内,然后通过籽晶夹头带动籽晶上升,此时籽晶带动溶液上升并重新结晶,最终形成所需长度的硅芯;待一组硅芯拉制完成后,料盘7旋转,将拉制好的硅芯放置在料盘7右侧的放料工位8上,然后料盘7反转,使机械手4在料盘7左侧的取料工位2重新抓取一个待用的籽晶夹头5,开始新一组硅芯的拉制,重复上述步骤,直至三组硅芯拉制完成。
但是如果需要一炉次拉制更多组硅芯,就需要加大料盘7的直径,即在料盘7上设置更多个取料工位2和放料工位8,采用此方法则需要加大炉室的直径来实现,如果加大了炉室的直径,首先会造成设备的制造成本增加,同时在硅芯拉制过程中,也会加大氩气的消耗量,导致使用成本大幅度增加等,为了解决上述技术问题,发明人曾于2017年7月21日以洛阳金诺机械工程有限公司的名义申请了专利号为201720888942.7,公告号为CN207176114U的一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置,该装置公开的技术方案虽说可以解决上述技术问题,但是由于放置在取料板上的籽晶夹头较重,易导致取料板变形,最终造成机械手抓取困难等,因此,为了能实现一炉次拉制更多组硅芯的目的,开发一种用于硅芯炉合理的取放料装置就成了本领域技术人员的长期技术诉求。
【发明内容】
为了实现所述发明目的,本实用新型提供了一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置,本实用新型通过在籽晶夹头提拉机构的两侧分别设置料盘,在不增大上炉室直径的前提下实现更多组硅芯的拉制,同时还提高了机械手抓取籽晶夹头的准确度等,本实用新型具有结构简单,操作方便等特点。
为实现上述发明目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置,包括料盘和籽晶夹头提拉机构,所述籽晶夹头提拉机构设置在上炉室内,在籽晶夹头提拉机构的两侧分别设有料盘,两料盘分别设置在料盘连接轴的下端,在两料盘上分别设有复数个取料工位和放料工位形成所述的用于硅芯炉的双料盘取放料装置。
所述的用于硅芯炉的双料盘取放料装置,所述籽晶夹头提拉机构的中心与两料盘的中心位于同一直线上。
所述的用于硅芯炉的双料盘取放料装置,所述料盘上设有料盘连接轴穿孔,料盘连接轴穿孔套接在料盘连接轴的下端头,料盘连接轴的上端连接设置在上炉室上端面的料盘旋转机构。
所述的用于硅芯炉的双料盘取放料装置,所述料盘对应籽晶夹头提拉机构的外缘面上设有弧形缺口。
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