[实用新型]一种真空镀膜机

权利要求书

1.一种真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机包括真空腔、成膜伞架、基片、蒸发源以及支撑杆，所述成膜伞架具有伞状结构且设置于真空腔的顶部，所述成膜伞架的中心设置有中心回转机构以驱动成膜伞架旋转，所述基片可拆卸地悬挂于成膜伞架的下表面，所述蒸发源设置于成膜伞架下方，所述支撑杆的一端固定于真空腔侧面且另一端延伸进入成膜伞架和蒸发源之间的空间，所述支撑杆上安装有阻隔板，所述阻隔板的上表面与成膜伞架的下表面平行。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述支撑杆与真空腔侧面的固定处设置有气缸，通过气缸控制支点的上下升降，以调整阻隔板上表面与成膜伞架下表面之间的距离。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于，所述气缸的升降压力为0.5～0.8MPa。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述阻隔板上表面与成膜伞架下表面之间的距离为20～60cm。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述支撑杆的支点和蒸发源之间的连线与水平方向的夹角为30°～70°。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，以所述成膜伞架的半径R为基准，所述阻隔板的长度为4/5R～R。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述阻隔板的上表面形状呈方形或扇形。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，当所述阻隔板的上表面形状呈方形时，以所述成膜伞架的外圆周长L及半径R为基准，所述阻隔板的宽度为1/6L～1/3L，长度为4/5R～R；当所述阻隔板的上表面形状呈扇形时，以所述成膜伞架的外圆周长L为基准，所述阻隔板的弧长为1/12L～1/2L，圆心角为30°～180°。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述阻隔板为不锈钢板。

10.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述阻隔板的厚度为1～3mm。