[实用新型]一种刻蚀机线圈调整结构有效
| 申请号： | 202022293567.6 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN213691956U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 朱伟明;陈亮;史伟言;徐良;刘建哲;李京波 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L33/20 |
| 代理公司： | 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128 | 代理人： | 曹宏筠 |
| 地址： | 245000 安徽省黄山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 线圈 调整 结构 | ||
1.一种刻蚀机线圈调整结构，包括刻蚀机工作台(1)，设置在刻蚀机工作台(1)上的线圈(2)；其特征在于：所述线圈(2)在刻蚀机工作台(1)上呈开口环状布置，所述刻蚀机工作台(1)上沿圆周方向设置有一圈可沿刻蚀机工作台(1)半径方向前后移动的调整杆(3)，所述线圈(2)靠压在调整杆(3)的内侧面上，所述刻蚀机工作台(1)位于每个调整杆(3)的一侧设置有调节座(4)，所述调节座(4)上设置有转动丝杆(5)，所述调整杆(3)上设置有与转动丝杆(5)相适配的丝杆螺母(6)。
2.如权利要求1所述的刻蚀机线圈调整结构，其特征在于：所述刻蚀机工作台(1)上设置有使调整杆(3)沿刻蚀机工作台(1)半径方向前后移动的腰型孔(101)，所述腰型孔(101)的一侧设置有刻度标识(102)。
3.如权利要求1所述的刻蚀机线圈调整结构，其特征在于：所述调节座(4)上还设置有压紧螺栓(9)，压紧螺栓(9)的端部作用在转动丝杆(5)上。
4.如权利要求1所述的刻蚀机线圈调整结构，其特征在于：所述调整杆(3)与线圈(2)配合的部分为平面结构，在平面结构的底部设置有支撑台面(301)，所述线圈(2)的底部支撑在支撑台面(301)上，所述调整杆(3)的上端设置有夹紧线圈(2)上端的夹紧块(7)，所述夹紧块(7)与调整杆(3)螺栓连接固定。
5.如权利要求1所述的刻蚀机线圈调整结构，其特征在于：所述线圈(2)的开口处还设置有连接片(8)，所述连接片一端固定与线圈(2)的一端固定连接，连接片(8)的另一端设置有U型开口(801)，U型开口(801)处通过螺栓与线圈(2)的另一端固定连接。
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