[实用新型]基板烘烤设备及其链条涂油装置

权利要求书

1.一种链条涂油装置，其特征在于，所述的链条涂油装置用于基板烘烤设备，该基板烘烤设备包括箱体、烘烤装置以及载送装置，所述的箱体内具有烘烤通道，所述的烘烤装置设置于所述的箱体内，所述的烘烤装置自所述的箱体外对于所述的烘烤通道进气并进行加热，所述的载送装置设置于所述的箱体内，所述的载送装置包括驱动构件、多数个链轮、链条及吊架，所述的驱动构件驱动多数个所述的链轮旋转，所述的吊架设置于所述的链条上，用以夹持基板，所述的链条抵于多数个所述的链轮并且随着所述的链轮的旋转而移动所述的吊架，所述的链条涂油装置包含：

供油装置；以及

刷子，所述的刷子设置于所述的箱体内且设置对应于所述的链条，所述的刷子连接于所述的供油装置而接收来自所述的供油装置的油，并且所述的刷子接触所述的链条以对所述的链条涂油，而在所述的链条的表面形成粉尘沾黏层以供粉尘沾黏。

2.根据权利要求1所述的链条涂油装置，其特征在于，所述的供油装置包括定量分配装置，所述的定量分配装置对所述的刷子提供每次定量的油。

3.根据权利要求2所述的链条涂油装置，其中所述的供油装置包括注油机，所述的注油机为管道连通于所述的定量分配装置以供应油至所述的定量分配装置。

4.根据权利要求3所述的链条涂油装置，其特征在于，所述的注油机以定压的方式供应油。

5.根据权利要求3所述的链条涂油装置，其特征在于，所述的定量分配装置为多数个，多数个所述的定量分配装置是由共同的所述的注油机供应油。

6.一种基板烘烤设备，其特征在于，所述的基板烘烤设备包括：

箱体，所述的箱体内具有烘烤通道；

烘烤装置，设置于所述的箱体内，所述的烘烤装置自所述的箱体外对于所述的烘烤通道进气并进行加热；

载送装置，设置于所述的箱体内，所述的载送装置包括驱动构件、多数个链轮、链条及吊架，所述的驱动构件驱动多数个所述的链轮旋转，所述的吊架设置于所述的链条上，用以夹持基板，所述的链条抵于多数个所述的链轮并且随着所述的链轮的旋转而移动所述的吊架；以及

链条涂油装置，包括供油装置及刷子，所述的刷子设置于所述的箱体内且设置对应于所述的链条，所述的刷子连接于所述的供油装置而接收来自所述的供油装置的油，并且所述的刷子接触所述的链条以对所述的链条涂油，而在所述的链条的表面形成粉尘沾黏层以供粉尘沾黏。

7.根据权利要求6所述的基板烘烤设备，其中所述的供油装置包括定量分配装置，所述的定量分配装置对所述的刷子提供每次定量的油。

8.根据权利要求7所述的基板烘烤设备，其中所述的供油装置包括注油机，所述的注油机为管道连通于所述的定量分配装置以供应油至所述的定量分配装置。

9.根据权利要求8所述的基板烘烤设备，其中所述的注油机以定压的方式供应油。

10.根据权利要求8所述的基板烘烤设备，其中所述的定量分配装置为多数个，多数个所述的定量分配装置是由共同的所述的注油机供应油。