[实用新型]一种冷却式多孔除湿装置

说明书

本实用新型提出的一种冷却式多孔除湿装置，包括顶盖、底盖、外夹层和多个内管；所述外夹层具有内部圆周面和外部圆周面，在所述外夹层的外部圆周面上分别开设有冷却介质进口和冷却介质出口，通过所述冷却介质进口和冷却介质出口向外夹层内通入和导出冷却介质；所述顶盖和底盖分别固定安装于所述外夹层的顶端和底端，由所述顶盖、底盖和外夹层围合形成一容纳空间，多个内管均匀分布于该容纳空间内，且各内管的两端分别与所述顶盖和底盖连接并在连接处形成孔口，使得气流通过相应内管；各内管的两端分别为进气口和出气口，且内管内气流的流动方向与外夹层内冷却介质的流动方向相反。本装置结构简单，适用范围广，对管道内压损影响小。

技术领域

本实用新型提供了一种冷却式多孔除湿装置，涉及工业废气处理的领域。

背景技术

随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气，这些气体大多对人体和环境危害严重，而在处理废气的过程中会产生一些湿气，这些湿气会增大工厂管道负荷。因此废气处理设备市场需求量非常大，但是由于半导体厂商内部设施及环境的差异，废气处理设备也对各类实用的专用装置有较大需求。

目前，半导体领域常见的除湿设备有离心式除湿设备和碰撞式除湿设备。离心式除湿设备主要是依靠离心力把液体甩向器壁的一种脱水装置，但是离心式除湿设备的结构较复杂，设备价格昂贵。碰撞式除湿设备主要是气流撞击挡板后，液滴被截留再通过装置收集排出。但是碰撞式除湿设备的压损较高，设备容易损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服已有技术的不足之处，提供一种冷却式多孔除湿装置。本实用新型装置具有结构简单、使用范围广泛、对管道内压损影响较小等优点。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种冷却式多孔除湿装置，其特征在于，包括顶盖、底盖、外夹层和多个内管；所述外夹层具有内部圆周面和外部圆周面，在所述外夹层的外部圆周面上分别开设有冷却介质进口和冷却介质出口，通过所述冷却介质进口和冷却介质出口向外夹层内通入和导出冷却介质；所述顶盖和底盖分别固定安装于所述外夹层的顶端和底端，由所述顶盖、底盖和外夹层围合形成一容纳空间，多个内管均匀分布于该容纳空间内，且各内管的两端分别与所述顶盖和底盖连接并在连接处形成孔口，使得气流通过相应内管；各内管的两端分别为进气口和出气口，且内管内气流的流动方向与外夹层内冷却介质的流动方向相反。

进一步地，各所述内管为锥形管或者直管；当各内管为锥形管时，大口端为进气口，小口端为出气口。

本实用新型的特点及有益效果：

本实用新型提出的一种冷却式多孔除湿装置，结构简单，易于实现，可适用于大部分的半导体设备进行除湿。本实用新型装置利用内管内外的冷却介质和含湿度气流间的换热，将通入内管内气流所含湿度去除，除湿全过程中，本装置内无机械碰撞，故对管道内压损影响小，便于长期使用。

附图说明

图1为本实用新型实施例的一种冷却式多孔除湿装置的整体结构三维视图。

图2为图1所示除湿装置的俯视图。

图3和图4分别为图1所示除湿装置的主视图和局部剖视图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本实用新型，并不限定本实用新型的保护范围。

为了更好地理解本实用新型，以下详细阐述本实用新型提出的一种冷却式多孔除湿装置的应用实例。