[实用新型]晶圆测试用旋转机构

说明书

本实用新型公开了一种晶圆测试用旋转机构，包括基板、晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置，所述晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置设于基板上，所述晶圆载物台与旋转微调装置通过传动带模组传动连接；所述晶圆载物台用于吸附晶圆，所述晶圆载物台相对基板可转动；所述传动带模组包括主动轮、从动轮以及传动连接主动轮与从动轮的同步传动带，所述从动轮设于晶圆载物台；所述旋转微调装置包括连接筒、转轴以及旋钮，所述连接筒设于基板，所述转轴可转动的设于连接筒内，所述转轴上端连接主动轮，所述转轴下端连接旋钮。本实用新型提供的晶圆测试用旋转机构，检测可靠性好。

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试设备技术领域，具体地说，涉及一种晶圆测试用旋转机构。

背景技术

随着手机等智能设备对芯片需求的不断增长，智能终端厂商数量和质量要求也越来越高，导致上游芯片厂家检测和生产投入越来越多。

晶圆检测需要放置在显微镜下，通过人工观测实现。该检测过程需要手动调节晶圆在显微镜下的位置，现有的手动调节是通过人工拨动晶圆来实现360度自转操作，该方式容易损伤晶圆，具有极大的局限性与风险性，且很难控制晶圆的转动量，容易因超量而出现漏检和误检，可靠性较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆测试用旋转机构，检测可靠性好。

本实用新型公开的晶圆测试用旋转机构所采用的技术方案是:

一种晶圆测试用旋转机构，包括基板、晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置，所述晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置设于基板上，所述晶圆载物台与旋转微调装置通过传动带模组传动连接；所述晶圆载物台用于吸附晶圆，所述晶圆载物台相对基板可转动；所述传动带模组包括主动轮、从动轮以及传动连接主动轮与从动轮的同步传动带，所述从动轮设于晶圆载物台；所述旋转微调装置包括连接筒、转轴以及旋钮，所述连接筒设于基板，所述转轴可转动的设于连接筒内，所述转轴上端连接主动轮，所述转轴下端连接旋钮。

作为优选方案，所述传动带模组还包括至少一换向轮组，所述同步传动带在换向轮组处弯折换向。

作为优选方案，所述换向轮组包括一同步轮和一惰轮，所述惰轮与传送带的靠内一侧接触，所述同步轮与传动带的靠外一侧啮合。

作为优选方案，所述基板包括基础板体以及可滑动设于基础板体的安装板，所述换向轮组设于安装板。

作为优选方案，所述基础板体上开设有凹槽，所述安装板可滑动设于凹槽内，还包括紧固件，用于固定连接基础板体与安装板。

作为优选方案，所述晶圆载物台包括支撑座、设于支撑座的吸盘组件，以及设于支撑座且连通吸盘组件的真空管接头。

作为优选方案，所述吸盘组件包括设于支撑座的气封柱、设于气封柱上的压柱，设于压柱上的吸盘以及连接柱，所述吸盘经压柱、气封柱与真空管接头连通；所述吸盘被连接柱支撑，所述连接柱设于从动轮上并跟随从动轮转动，所述从动轮可转动设于气封柱。

作为优选方案，所述吸盘上开设有吸孔与若干流道，若干所述流道与吸孔连通，所述吸孔与真空管接头连通。

作为优选方案，还包括防护罩，所述防护罩罩设于传动带模组。

本实用新型公开的晶圆测试用旋转机构的有益效果是：晶圆被吸附在晶圆载物台，通过旋转旋钮，使转轴转动，主动轮跟随转动，带动同步传动带和从动轮转动，晶圆载物台跟随从动轮转动，从而实现晶圆的360°旋转检测。晶圆的旋转可通过旋钮控制，无需直接接触晶圆，稳定性和可靠性好。

附图说明

图1是本实用新型晶圆测试用旋转机构的结构示意图。

图2是本实用新型晶圆测试用旋转机构的局部结构示意图。