[实用新型]一种装卸片用吸盘

说明书

本实用新型公开了一种装卸片用吸盘，包括设置在硅片上方的吸盘，还包括机架，机架上设有横梁，横梁内转动设有丝杆，丝杆上转动设有滑座，滑座的一端设有伸缩缸，伸缩缸的一端伸出横梁设有安装架，吸盘的一侧设有固定架，固定架上设有连接安装架的套管，吸盘上设有吸附腔，吸附腔为三段式结构，吸附腔包括依次连接的收缩段、平顺段、扩散段，吸附腔的一侧设有抽吸孔，抽吸孔的另一端与套管连通，套管的一端通过软管连接有吸附装置。本实用新型与现有技术相比的优点在于：伸缩缸控制吸盘下落与硅片紧贴，缓冲垫具有高回弹性，减少对硅片的磨损；通过吸附装置与吸附腔配合，将硅片牢牢吸附住。

技术领域

本实用新型涉及硅片输送技术领域，具体是指一种装卸片用吸盘。

背景技术

在硅片生产和过程中，需要对硅片进行移动，在多个工序中进行夹持，现有的夹持机构一般是利用吸盘对硅片进行吸附，但是现有的夹具结构简单，在吸附的时候，吸附效果不好。吸盘口直上直下，硅片局部受力，当吸附装置停止工作，将硅片放下时，吸力突然的不足，没有缓冲，硅片会掉落粉碎，而且吸附力过大时，硅片会出现擦痕或粉碎。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服上述技术的缺陷，提供一种装卸片用吸盘。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种装卸片用吸盘，包括设置在硅片上方的吸盘，还包括机架，所述机架上设有横梁，所述横梁内转动设有丝杆，所述丝杆的一端连接有驱动电机，所述丝杆上转动设有滑座，所述滑座的一端设有伸缩缸，所述伸缩缸的一端伸出横梁设有安装架，所述吸盘与安装架可拆卸连接，所述吸盘的一侧设有固定架，所述固定架为十字形结构，所述固定架上设有连接安装架的套管，所述吸盘上设有吸附腔，所述吸附腔为三段式结构，所述吸附腔包括依次连接的收缩段、平顺段、扩散段，所述吸附腔的一侧设有抽吸孔，所述抽吸孔水平设置，所述抽吸孔的另一端与套管连通，所述套管的一端通过软管连接有吸附装置，所述吸附装置安装在滑座上。

作为改进，所述吸盘与固定架为一体式结构。

作为改进，所述套管的一端设有法兰盘。

作为改进，所述抽吸孔设置有四个。

作为改进，所述吸盘上设有环形槽，所述环形槽内设有缓冲垫。

作为改进，所述缓冲垫采用热塑性聚氨酯材料。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：结构简单，实用方便；伸缩缸控制吸盘下落与硅片紧贴，缓冲垫具有高回弹性，减少对硅片的磨损；通过吸附装置与吸附腔配合，将硅片牢牢吸附住；吸附腔收缩段的大口径端与硅片接触，增大吸附面积从而加强吸附力，收缩段的开口逐步内缩，可以减少抽吸面积，经过平顺端到扩散段处，进行释放，扩散段与收缩段之间设有压差，加速吸附；滑座在丝杆上来回移动，对硅片进行输送；可拆卸的吸盘方便对吸盘进行更换；套筒与抽吸孔的的放置方式，使得气体经过一个拐弯，当出现吸附装置停止工作时，延缓气体停留时间，缓慢放置硅片。

附图说明

图1是本实用新型一种装卸片用吸盘的结构示意图。

图2是本实用新型一种装卸片用吸盘的吸盘的截面示意图。

图3是本实用新型一种装卸片用吸盘的吸盘的正面示意图。

图4是本实用新型一种装卸片用吸盘的吸盘的反面示意图。

如图所示：1、吸盘，2、机架，3、横梁，4、丝杆，5、驱动电机，6、滑座，7、伸缩缸，8、安装架，9、固定架，10、套管，11、吸附腔，11.1、收缩段，11.2、平顺段，11.3、扩散段，12、抽吸孔，13、吸附装置，14、法兰盘，15、缓冲垫。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型一种装卸片用吸盘做进一步的详细说明。