[实用新型]有源矩阵数字微流控芯片基板有效
| 申请号： | 202022308169.7 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN212396773U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 霍亚洲;杨柳青;吴玥;张东锋;刘聪;王超 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 | 代理人： | 韩华 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有源 矩阵 数字 微流控 芯片 | ||
【权利要求书】：
1.一种有源矩阵数字微流控芯片基板，包括基板和设置在所述基板上的晶体管；其特征是：所述晶体管的源极、源极引出线、漏极、漏极引出线同层设置于基板上，所述源极和源极引出线为一体成型结构，所述漏极和漏极引出线也为一体成型结构，有源层设置于源极和漏极之间；位于所述源极、源极引出线、漏极、漏极引出线和有源层上表面涂覆有绝缘层，所述绝缘层上表面设置有栅极引出线，位于有源层位置处设置有栅极，所述栅极和栅极引出线为一体成型结构；栅极和栅极引出线上表面涂覆有介电层，所述介电层上表面涂覆有疏水层。
2.根据权利要求1所述有源矩阵数字微流控芯片基板，其特征是，设置在所述基板上的所述晶体管为多个，多个晶体管按照矩阵排列布置。
3.根据权利要求1或2所述有源矩阵数字微流控芯片基板，其特征是，所述源极引出线沿横向布置在所述基板上，所述栅极引出线沿所述绝缘层列向布置。
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