[实用新型]一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置

权利要求书

1.一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部开设有入料口(5)，所述入料口(5)的一侧安装有水箱(4)，所述箱体(1)的下方安装有第一污水处理箱(2)，所述第一污水处理箱(2)的一侧安装有药剂箱(3)，所述箱体(1)的一侧安装有冲洗烘干箱(10)，所述冲洗烘干箱(10)的下方安装有第二污水处理箱(12)，所述第二污水处理箱(12)的一侧安装有下料板(11)，所述箱体(1)的内部开设有超声波清洗槽(25)，所述超声波清洗槽(25)的一侧开设有药剂处理槽(13)，所述超声波清洗槽(25)的内部安装有第三传送带(26)，所述第三传送带(26)的下方安装有第四传送带(27)，所述第四传送带(27)的下方安装有第五传送带(28)，所述第五传送带(28)的下方安装有钢板(29)，所述钢板(29)的内部安装有换能器(30)，所述钢板(29)的下方安装有第二加热板(31)，所述第二加热板(31)的内部安装有第二加热管(32)，所述药剂处理槽(13)的内部安装有第一传送带(16)，所述冲洗烘干箱(10)的内壁安装有喷头(14)，所述喷头(14)的一侧安装有烘干机(15)，所述烘干机(15)的下方安装有第二传送带(17)，所述第二传送带(17)的表面开设有若干个排水口。

2.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置，其特征在于：所述水箱(4)的顶部开设有入水口，所述水箱(4)的内部安装有第二水泵(39)，所述第二水泵(39)输出口的表面安装有水管(7)，所述水管(7)的表面安装有注水管(9)，所述水箱(4)通过水管(7)和注水管(9)分别与喷头(14)和超声波清洗槽(25)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置，其特征在于：所述药剂箱(3)的顶部开设有入剂口，所述药剂箱(3)的内部安装有第三水泵(40)，所述第三水泵(40)输出口的表面安装有药剂输送管(8)，所述药剂箱(3)通过药剂输送管(8)与药剂处理槽(13)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置，其特征在于：所述第一污水处理箱(2)的内部安装有过滤棉(34)，所述过滤棉(34)的下方安装有第二过滤网(35)，所述第二过滤网(35)的下方安装有竹炭板(36)，所述竹炭板(36)的下方安装有第二活性炭板(37)，所述第二活性炭板(37)的下方安装有第一水泵(38)，所述第一水泵(38)输出口的表面安装有循环管(6)，所述第一污水处理箱(2)的顶部安装有第三污水排放管(33)。

5.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置，其特征在于：所述第二污水处理箱(12)的内部安装有第一过滤网(20)，所述第一过滤网(20)的下方安装有第一活性炭板(21)，所述第一活性炭板(21)的下方安装有第一加热板(22)，所述第一加热板(22)的内部安装有第一加热管(24)，所述第二污水处理箱(12)的顶部安装有第一污水排放管(18)，所述第一污水排放管(18)的一侧安装有第二污水排放管(19)，所述第二污水处理箱(12)的表面安装有排放管(23)。

6.根据权利要求5所述的一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置，其特征在于：所述第二污水排放管(19)、第三污水排放管(33)和排放管(23)的表面均安装有开关阀。