[实用新型]一种金属掩膜板生产用涂胶装置

说明书

本实用新型提供一种金属掩膜板生产用涂胶装置。所述金属掩膜板生产用涂胶装置包括涂胶装置本体；底座，所述底座固定安装在所述涂胶装置本体的底部；框道，所述框道开设在所述底座的顶部；两个滑孔，两个所述滑孔分别开设在所述框道的两侧内壁上；纠正框，所述纠正框滑动安装在所述框道内；下密封框，所述下密封框固定安装在所述纠正框的顶部，所述下密封框的顶部延伸至所述底座外并位于所述涂胶装置本体外；两个升降机构，两个所述升降机构分别设置在所述底座的两侧并分别和两个所述滑孔对应分布。本实用新型提供的金属掩膜板生产用涂胶装置具有能够对喷涂装置进行封闭作业、减少灰尘杂质落入、且能够在喷涂前进行除尘的优点。

技术领域

本实用新型涉及金属掩膜板生产技术领域，尤其涉及一种金属掩膜板生产用涂胶装置。

背景技术

在芯片制造里，掩膜板就是光罩。它可以被理解为包含芯片版图信息的胶片，经过曝光以后，掩膜板里的版图就被刻到了晶圆上，伴随着芯片等电子行业的发展对掩膜板的需求越来越大，关于掩膜板的生产制造一直是人们所研究的方向，其中在掩膜板的生产中涂抹光刻胶是一项重要步骤，光刻胶在涂抹时是否厚度均匀和洁净程度直接影响产品的质量，目前在涂胶时主要采用涂胶装置进行涂胶，其涂胶装置通常配有可升降的喷头和可前后移动的轨道，在喷涂时通过电脑终端即可对放置在底座上的原料板控制喷涂，喷涂较为均匀。

然而目前市场上所使用的涂胶装置多采用暴露式喷涂，时常出现由于喷涂房间内有灰尘和杂质落入的情况，影响产品质量，同时空气中的气流也可能影响到喷涂效果，导致胶水在细微处均匀性差。

因此，有必要提供一种新的金属掩膜板生产用涂胶装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有能够对喷涂装置进行封闭作业、减少灰尘杂质落入、且能够在喷涂前进行除尘的金属掩膜板生产用涂胶装置。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

本实用新型的提供了一种金属掩膜板生产用涂胶装置，包括：涂胶装置本体；底座，所述底座固定安装在所述涂胶装置本体的底部；框道，所述框道开设在所述底座的顶部；两个滑孔，两个所述滑孔分别开设在所述框道的两侧内壁上；纠正框，所述纠正框滑动安装在所述框道内；下密封框，所述下密封框固定安装在所述纠正框的顶部，所述下密封框的顶部延伸至所述底座外并位于所述涂胶装置本体外；两个升降机构，两个所述升降机构分别设置在所述底座的两侧并分别和两个所述滑孔对应分布；上密封框，所述上密封框设置在所述下密封框的顶部，所述上密封框位于所述涂胶装置本体外；两个调节机构，两个所述调节机构分别设置在所述底座和所述上密封框的前后两侧；除尘机构，所述除尘机构设置在所述上密封框上；

作为本实用新型进一步的方案，所述升降机构包括连接块、齿条、电机和齿轮，所述连接块滑动安装在所述滑孔内，所述连接块的一侧延伸至所述框道内并和所述下密封框的一侧固定连接，所述连接块远离所述下密封框的一侧延伸至所述底座外，所述齿条固定安装在所述连接块远离所述下密封框的一侧上，所述齿条的一侧和所述底座的一侧滑动接触，所述电机固定安装在所述底座位于所述齿条的一侧上，所述电机位于所述齿条的后侧，所述齿轮固定安装在所述电机的输出轴上，所述齿轮和所述齿条相啮合。

作为本实用新型进一步的方案，所述调节机构包括两个固定块、两个导套、两个滑杆、连接板、支撑板和电动伸缩杆，两个所述固定块均固定安装在所述上密封框的正面上，两个所述导套均固定安装在所述底座的正面上并分别和两个所述固定块对应分布，两个所述滑杆分别滑动安装在两个所述导套上，两个所述滑杆的顶端和底端分别延伸至两个所述导套外，两个所述滑杆的顶端分别和两个所述固定块的底部固定连接，所述连接板固定安装在两个所述滑杆的底端上，所述连接板和所述底座的正面滑动接触，所述支撑板固定安装在所述底座的正面上，所述支撑板位于所述连接板的下方，所述电动伸缩杆固定安装在所述支撑板的顶部，所述电动伸缩杆的输出杆和所述连接板的底部固定连接。