[实用新型]一种金属掩膜板原料保存装置

说明书

本实用新型提供一种金属掩膜板原料保存装置。所述金属掩膜板原料保存装置包括箱体；伸缩杆，所述伸缩杆固定安装在所述箱体的一侧内壁上；L型支撑板，所述L型支撑板固定安装在所述伸缩杆上；缓冲垫，所述缓冲垫固定安装在所述L型支撑板的一侧；盒体，所述盒体放置在所述L型支撑板上，且所属盒体的顶部为开口；取出口，所述取出口开设在所述箱体的一侧；保护门，所述保护门铰接安装在所述箱体上，且所述保护门位于所述取出口的一侧；固定机构，所述固定机构设置在所述保护门上。本实用新型提供的金属掩膜板原料保存装置具有可以方便将将盒体送入与送出箱体，运送方便，且可以进行除潮，提高保存效果的优点。

技术领域

本实用新型涉及金属保存技术领域，尤其涉及一种金属掩膜板原料保存装置。

背景技术

在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。

金属掩膜板是OLED生产所需要的消耗性核心零部件，比纸还薄，需要定期更换，且生产成本较大，OLED金属掩模板分为CMM和高精度金属掩模板(FMM)，其中前者主要用于大尺寸OLED面板生产，后者则主要用于中小尺寸OLED面板。

金属是金属掩膜板需要的原料，金属原料在传统的保存过程中一般放置到柜子中进行保存，柜体空间有限搬出与放置都不太方便，金属受潮也会造成影响。

因此，有必要提供一种新的金属掩膜板原料保存装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有可以方便将将盒体送入与送出箱体，运送方便，且可以进行除潮，提高保存效果的金属掩膜板原料保存装置。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

本实用新型的提供了一种金属掩膜板原料保存装置，包括：箱体；伸缩杆，所述伸缩杆固定安装在所述箱体的一侧内壁上；L型支撑板，所述L型支撑板固定安装在所述伸缩杆上；缓冲垫，所述缓冲垫固定安装在所述L型支撑板的一侧；盒体，所述盒体放置在所述L型支撑板上，且所属盒体的顶部为开口；取出口，所述取出口开设在所述箱体的一侧；保护门，所述保护门铰接安装在所述箱体上，且所述保护门位于所述取出口的一侧；固定机构，所述固定机构设置在所述保护门上；除湿机构，所述除湿机构设置在所述箱体的底部。

作为本实用新型进一步的方案，所述固定机构包括螺纹杆、把手、转动块、支撑板和防滑垫，所述螺纹杆螺纹安装在所述保护门上，所述把手固定安装在所述螺纹杆的一端，所述转动块转动安装在所述螺纹杆的一端，所述支撑板固定安装在所述转动块远离所述转动块的一侧，所述固定安装在所述防滑垫的一侧，所述防滑垫与所述盒体相接触。

作为本实用新型进一步的方案，所述除湿机构包括透气管、除湿盒和除湿剂，所述透气管固定在所述箱体的一侧，且所述透气管与所述箱体相连通，所述除湿盒与所述透气管螺纹连接，所述除湿剂位于所述除湿盒内。

作为本实用新型进一步的方案，所述保护门上开设有两个滑动孔，两个所述滑动孔的内壁上均固定安装有直线轴承，所述支撑板的一侧固定安装有两个限位杆，两个所述直线轴承分别滑动套设在两个所述限位杆上。

作为本实用新型进一步的方案，所述转动块的一侧开设有连接孔，所述连接孔的内壁上固定安装有轴承，所述轴承的内圈固定套设在所述螺纹杆上。

作为本实用新型进一步的方案，所述箱体的一侧固定安装有四个万向轮，所述箱体的一侧外壁上固定安装有扶手。

作为本实用新型进一步的方案，所述盒体的两侧固定安装有多个吊耳。