[实用新型]一种金属掩膜板原料转运装置

说明书

本实用新型提供一种金属掩膜板原料转运装置。所述金属掩膜板原料转运装置包括基板；框槽，所述框槽开设在所述基板的顶部；密封框，所述密封框设置在所述框槽内，所述密封框的顶部延伸至所述基板外；保护罩，所述保护罩固定安装在所述密封框的顶部，所述保护罩的底部和所述基板的顶部相接触；多个放置槽，多个所述放置槽均匀开设在所述基板的顶部，多个所述放置槽均位于所述框槽内；多个绒布，多个所述绒布分别铺设在多个所述放置槽内，多个所述绒布的外沿均延伸至所述基板外。本实用新型提供的金属掩膜板原料转运装置具有便于拿取掩模板、放置时不易划伤、且滤布安装较为稳定的优点。

技术领域

本实用新型涉及金属掩膜板生产技术领域，尤其涉及一种金属掩膜板原料转运装置。

背景技术

金属掩膜板又称光学掩模板，光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC(Integrated Circuit，集成电路)、FPD(Flat Panel Display，平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards，印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统)等，掩膜板，特别是细小网格的掩膜板，在初加工成型后，会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质，影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中，掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质，这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用，在将掩膜板再次投入使用前必须清除，金属掩膜板重量在100～200kg左右，在清洗前和清洗完毕后必须采用专用的转运装置进行转移，否则容易对金属掩膜板造成损坏。

然而目前的转运装置在转运时人们拿取掩模板大多通过手去抠，导致本就轻薄的掩膜板出现损伤，造成了经济损失，且目前的转运装置上的放置槽内大多没有放置保护件，容易划伤掩模板，造成不必要的损失。

因此，有必要提供一种新的金属掩膜板原料转运装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有便于拿取掩模板、放置时不易划伤、且滤布安装较为稳定的金属掩膜板原料转运装置。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

本实用新型的提供了一种金属掩膜板原料转运装置，包括：基板；框槽，所述框槽开设在所述基板的顶部；密封框，所述密封框设置在所述框槽内，所述密封框的顶部延伸至所述基板外；保护罩，所述保护罩固定安装在所述密封框的顶部，所述保护罩的底部和所述基板的顶部相接触；多个放置槽，多个所述放置槽均匀开设在所述基板的顶部，多个所述放置槽均位于所述框槽内；多个绒布，多个所述绒布分别铺设在多个所述放置槽内，多个所述绒布的外沿均延伸至所述基板外；多个顶推机构，多个所述顶推机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布；多个固定机构，多个所述固定机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布；

作为本实用新型进一步的方案，所述顶推机构包括推板、顶推杆、第一固定块和第一弹簧，所述推板滑动安装在所述放置槽内，所述推板的顶部和所述绒布的底部固定连接，所述顶推杆滑动安装在所述放置槽的底部内壁上，所述顶推杆的顶端位于所述放置槽内并和所述推板的底部固定连接，所述顶推杆的底端延伸至所述基板外，所述第一固定块固定安装在所述顶推杆的底端上，所述第一弹簧滑动套设在所述顶推杆上，所述第一弹簧的底端和所述第一固定块的顶部固定连接，所述第一弹簧的顶端和所述基板的底部固定连接。