[实用新型]一种扩散炉的冷却结构

说明书

一种扩散炉的冷却结构，包括设置在扩散炉内部的内管以及设置在内管外侧的保温层、隔离层和冷却层，所述隔离层设置于保温层与冷却层之间；所述冷却层设置于隔离层外侧；本实用新型设置冷却层，加快扩散炉的冷却，减少生产用时，增加生产效率，同时也能够加快主炉柜内的降温，避免电气设备长时间处于高温状态而损坏，能够尽可能的大面积的进行降温，而且降温的区域分布均匀，本设备能够尽可能的大面积的进行降温，而且降温的区域分布均匀。

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉，特别是涉及一种扩散炉的冷却结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是现有的一些处理方式。

低压扩散炉，用于在低压氛围下，实现化学反应和分子沉积成膜，成膜以后可以通过加热进行高温扩散，从而实现半导体或光伏原材料表面掺杂的功能，通过这种方式可以进行半导体或光伏材料的表面加工。但是目前的低压扩散炉由于是柜式结构，通风性差，散热不好，导致柜内的温度会随着扩散炉的温度的上升而快速上升，而且不易降温，这会导致柜内温度过高，影响电气设备的正常工作。同时由于生产中自然散热的速度很慢，变相增加了生产所花费的时间，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种炉体的冷却结构，结构简单，使用方便。

一种扩散炉的冷却结构，包括设置在扩散炉内部的内管以及设置在内管外侧的保温层、隔离层和冷却层，所述隔离层设置于保温层与冷却层之间；所述冷却层设置于隔离层外侧。

进一步的，所述冷却层设置有水盘管，所述水盘管包括直管、弯管；所述弯管设置于直管之间；所述直管之间相互平行设置，直管平行于扩散炉的中轴线。

进一步的，所述冷却层还设置有固定管；所述固定管呈“T”型，固定管包括固定部与连接部，固定部与连接部一体制成；所述固定部垂直于连接部，固定部为中空的管道；所述连接部用于连接固定管与扩散炉。

进一步的，所述直管包括水管、进水管和出水管；所述水管的长度短于扩散炉的长度。

进一步的，所述扩散炉设置于主炉框架上，主炉框架的顶部设置有水冷盘；所述水冷盘包括箱体、连接脚、曲管；所述连接脚和曲管设置于箱体；水冷盘连接水盘管。

进一步的，所述曲管包括曲管一和曲管二；所述曲管一整体呈“L”型，一端与箱体连接；所述曲管二整体呈“L”型，一端与箱体连接；曲管二设置于曲管一的正下方。

进一步的，箱体一端连接有U型槽，所述曲管一和曲管二设置于U型槽内。

进一步的，所述主炉框架还设置有风冷系统，所述风冷系统包括排风扇以及通气口。

进一步的，所述主炉框架顶端还设置水箱盖；所述水冷盘设置于水箱盖与主炉框架之间；所述主炉框架还设置风冷系统；所述风冷系统包括排风扇和通气孔；所述排风扇设置于水箱盖的顶部；所述通气孔设置于主炉框架的底部以及侧面。

采用本实用新型的有益效果在于：

本实用新型设置冷却层，加快扩散炉的冷却，减少生产用时，增加生产效率，同时也能够加快主炉柜内的降温，避免电气设备长时间处于高温状态而损坏。

水冷盘中设置流速控制装置，扩散炉升温时降低流速，减小能源的消耗；扩散炉降温的时候，加快流速，加速降温。

主炉框架还设置风冷装置，进一步帮助扩散炉的内部进行降温。

水盘管包括直管和弯管，直管平行于扩散炉中轴线地设置于冷却层，能够尽可能的大面积的进行降温，而且降温的区域分布均匀。

附图说明

图1为本实用新型扩散炉结构图；