[实用新型]一种半导体芯片加工生产用辅助装置有效

专利信息
申请号: 202022319524.0 申请日: 2020-10-19
公开(公告)号: CN213515734U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 正芯半导体技术(深圳)有限公司
主分类号: G01D21/00 分类号: G01D21/00;G01D11/00
代理公司: 北京成实知识产权代理有限公司 11724 代理人: 陈永虔
地址: 518000 广东省深圳市福田区华强北街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 加工 生产 辅助 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体芯片加工生产用辅助装置,包括第一横板(1),所述第一横板(1)的底部四角均固接有底座(2),其特征在于:所述第一横板(1)的顶部设于转动机构(3);

所述转动机构(3)包括圆杆(301)、卡槽(302)、卡杆(303)、滑槽(304)、滑块(305)、第一弹簧(306)和拨片(307);

所述圆杆(301)通过轴承与第一横板(1)转动相连,所述圆杆(301)的外壁加工有多个卡槽(302),左侧所述卡槽(302)的内壁卡接有卡杆(303),所述卡杆(303)的底部加工有滑槽(304),所述滑槽(304)的内壁滑动相连有滑块(305),所述滑块(305)固接于第一横板(1)的顶部左侧,所述滑槽(304)的内壁间隙配合有第一弹簧(306),所述第一弹簧(306)的一端固接于滑槽(304)的内壁,所述第一弹簧(306)的另一端固接于滑块(305)的外壁,所述卡杆(303)的顶部左侧固接有拨片(307)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工生产用辅助装置,其特征在于:多个所述卡槽(302)两两之间等距分布。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工生产用辅助装置,其特征在于:所述圆杆(301)的顶部设有角度机构(4);

所述角度机构(4)包括第二横板(401)、螺杆(402)、把手(403)、套筒(404)、杆体(405)和平台(406);

所述第二横板(401)固接于圆杆(301)的顶部,所述第二横板(401)的顶部右侧通过轴承座转动相连有螺杆(402),所述螺杆(402)的右侧固接有把手(403),所述螺杆(402)的外壁螺纹相连有套筒(404),所述套筒(404)通过连接轴转动相连有杆体(405),所述杆体(405)的顶部通过连接轴转动相连有平台(406),所述平台(406)的底部通过连接轴与第二横板(401)转动相连。

4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片加工生产用辅助装置,其特征在于:所述把手(403)的表面加工有磨纹。

5.根据权利要求3所述的一种半导体芯片加工生产用辅助装置,其特征在于:所述平台(406)的顶部设有夹持机构(5);

所述夹持机构(5)包括凹槽(501)、滑杆(502)、滑套(503)、第二弹簧(504)、竖板(505)、橡胶垫(506)、手柄(507)和滑轮(508);

两个所述凹槽(501)分别加工于平台(406)的顶部左右两侧,所述凹槽(501)的内壁设有滑杆(502),所述滑杆(502)的外壁左右两侧分别与凹槽(501)的内壁左右两侧固接在一起,所述滑杆(502)的外壁滑动相连有滑套(503),所述滑套(503)的外壁与凹槽(501)的内壁间隙配合,所述滑杆(502)的外壁间隙配合有第二弹簧(504),所述第二弹簧(504)的一端固接于凹槽(501)的内壁,所述第二弹簧(504)的另一端固接于滑套(503)的外壁,所述滑套(503)的顶部固接有竖板(505),所述竖板(505)的内侧固接有橡胶垫(506),所述竖板(505)的顶部通过连接轴转动相连有滑轮(508),所述竖板(505)的外侧固接有手柄(507)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片加工生产用辅助装置,其特征在于:所述滑杆(502)为方形滑杆。

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