[实用新型]一种稳定高效的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202022320150.4 申请日: 2020-10-19
公开(公告)号: CN213772188U 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 林旭 申请(专利权)人: 沈阳科岛仪器有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 代理人: 国红
地址: 110015 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 稳定 高效 真空镀膜
【说明书】:

实用新型公开了一种稳定高效的真空镀膜机,包括底座,所述底座的内部开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的底部转动连接有滑轮,所述滑轮位于第二滑槽的内部。本实用新型通过设置底座用于对竖板和真空镀膜机本体进行安装和支撑,提高竖板和真空镀膜机本体的稳定性,防止真空镀膜机本体在使用时发生晃动,通过设置第一滑槽和第二滑槽相互配合用于对滑块进行滑动和限位,提高了滑块在滑动时的稳定性,同时解决了现有真空镀膜机在使用时会发生强度不同震动,长时间处于震动下对真空镀膜机内部的零件造成磨损,导致真空镀膜机的生产效率下降,满足不了使用需求的问题。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体为一种稳定高效的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,现有的真空镀膜机在使用时会发生强度不同震动,长时间处于震动下对真空镀膜机内部的零件造成磨损,导致真空镀膜机的生产效率下降,满足不了使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种稳定高效的真空镀膜机,具备提高生产效率的优点,解决了现有真空镀膜机在使用时会发生强度不同震动,长时间处于震动下对真空镀膜机内部的零件造成磨损,导致真空镀膜机的生产效率下降,满足不了使用需求的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种稳定高效的真空镀膜机,包括底座,所述底座的内部开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的底部转动连接有滑轮,所述滑轮位于第二滑槽的内部,所述滑块的顶部固定安装有真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体位于底座的顶部,所述底座的顶部且位于真空镀膜机本体的左侧固定安装有竖板,所述竖板的正面和背面均固定安装有横杆,所述横杆的内部开设有收纳槽,所述收纳槽的内部设置有第二弹簧,所述第二弹簧的背面固定安装有安装板,所述第二弹簧的正面和收纳槽的正面固定连接,所述安装板的背面固定安装有卡块,所述卡块位于真空镀膜机本体的右侧,所述收纳槽的两侧均固定安装有限位块,所述限位块位于安装板的背面。

优选的,所述底座的顶部固定安装有防护垫,所述防护垫的内部开设有第一滑槽,所述第一滑槽位于第二滑槽的顶部,所述滑块贯穿于第一滑槽。

优选的,所述底座的右侧固定安装有斜面块,所述斜面块的顶部和第二滑槽的底部位于同一水平面上。

优选的,所述竖板的右侧固定安装有第一弹簧,所述第一弹簧的另一侧和真空镀膜机本体的左侧活动连接。

优选的,所述安装板的正面固定安装有连接杆,所述连接杆位于第二弹簧的内部,所述横杆的正面开设有限位孔,所述连接杆的正面贯穿于限位孔并延伸至横杆的外部,所述连接杆的正面固定安装有拉杆。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

1、本实用新型通过设置底座用于对竖板和真空镀膜机本体进行安装和支撑,提高竖板和真空镀膜机本体的稳定性,防止真空镀膜机本体在使用时发生晃动,通过设置第一滑槽和第二滑槽相互配合用于对滑块进行滑动和限位,提高了滑块在滑动时的稳定性,通过设置滑块和滑轮相互配合用于对真空镀膜机本体进行滑动和支撑,便于真空镀膜机本体的移动,通过设置竖板用于对横杆进行安装和固定,提高横杆的稳定性,通过设置安装板和限位块相互配合用于防止卡块在连接杆的弹力作用下脱离收纳槽,导致无法对真空镀膜机本体进行固定和限位,通过设置第二弹簧和卡块相互配合用于对真空镀膜机本体进行固定和限位,防止真空镀膜机本体发生偏移,同时解决了现有真空镀膜机在使用时会发生强度不同震动,长时间处于震动下对真空镀膜机内部的零件造成磨损,导致真空镀膜机的生产效率下降,满足不了使用需求的问题。

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