[实用新型]一种真空电弧自动引弧装置

说明书

本实用新型公开了一种真空电弧自动引弧装置，涉及晶闸管生产设备的领域，解决了现有的引弧杆难以更换且没有缓冲功能的技术问题。它包括引弧装置本体、第一引弧杆、第二引弧杆，所述第一引弧杆的末端开设有安装槽，所述第二引弧杆的末端设有插接杆，所述插接杆插接在安装槽中，且所述插接杆与安装槽之间设有弹簧；所述第一引弧杆的端部旋接有沿第一引弧杆轴心方向向外延伸的连接套，延伸至所述第一引弧杆外的连接套中开设有限位孔，所述第二引弧杆活动的插接在限位孔中。本实用新型实现了引弧杆的缓冲功能，从而避免了引弧杆与耙材接触时容易对靶材造成冲击的问题，提高了靶材的稳定性；且拆装简单方便，易于更换。

技术领域

本实用新型涉及晶闸管生产设备，更具体地说，它涉及一种真空电弧自动引弧装置。

背景技术

多弧离子镀膜技术是在真空条件下，通过控制电弧在靶材表面移动，来蒸发靶材金属，并在基片上施加一个高偏压，使得电弧蒸发出来的靶材粒子高速轰击在基片上，形成薄膜的过程。由于靶材表面上的电弧是一个低电压、大电流的直流电源来供给，所以本身只能维持电弧不能自发产生电弧，产生电弧的时候需要单独的引弧结构。引弧时，通过引弧杆施加阳极电，靶材施加阴极电，引弧杆短暂接触靶材使得阴阳极短暂短路，然后引弧杆在离开靶材表面时，阴阳极电路出现击穿电弧，在通过电弧电源提供一个稳定的低电压、大电流输出，实现电弧的自我维持。而晶闸管在生产制造的过程中，需要通过自动引弧装置来触发靶材，以使靶材上的铝条能够被蒸发，从而实现在晶闸管的管芯阴极面上蒸一层铝。

目前的自动引弧装置在引弧的过程中，装置上的引弧杆放置在阴极靶面前，作为接地端与阴极瞬间短路，产生大电流，从而引起弧光放电。在放电的过程中，引弧杆作为阳极，大量电子受电场影响，会轰击引弧杆的前端，前端受热会加速引弧杆材料的老化，从而降低引弧杆的使用寿命，导致经常需要更换。但现有的引弧装置的引弧杆是直接从引弧装置中延伸出来的，因此，在更换时需要将引弧装置整体进行拆卸，导致更换不方便、时间过长的问题呢。此外，目前的引弧装置均没有缓冲的功能，在引弧杆与耙材接触时会对靶材造成冲击，长久如此，容易使靶材出现位移的现象。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种真空电弧自动引弧装置，解决了现有的引弧杆难以更换且没有缓冲功能的问题。

本实用新型的技术方案是在于：一种真空电弧自动引弧装置，包括引弧装置本体，所述引弧装置本体的下方设有第一引弧杆，还包括第二引弧杆，所述第一引弧杆的末端开设有安装槽，所述第二引弧杆的末端设有插接杆，所述插接杆插接在安装槽中，且所述插接杆与安装槽之间设有弹簧；所述第一引弧杆的端部旋接有连接套，所述连接套中开设有限位孔，所述第二引弧杆活动的插接在限位孔中。

作进一步的改进，所述限位孔由第一台阶孔和第二台阶孔构成，所述第二引弧杆贯穿第一台阶孔并插接在第二台阶孔中，且位于所述第二台阶孔内的第二引弧杆的末端设有多个限位块；所述限位块的侧壁与第二台阶孔的孔壁接触，所述第二引弧杆的侧壁与第一台阶孔的孔壁接触。

进一步的，所述第二台阶孔的孔壁上开设有与限位块数量一致的定位滑槽，所述限位块一一对应的插接在定位滑槽中。

更进一步的，所述限位块与定位滑槽相适配。

更进一步的，所述第一引弧杆的端部设有外螺纹段，所述外螺纹段的末端的设有用于限位连接套的限位台阶，所述连接套旋接在外螺纹段上。

有益效果

本实用新型的优点在于：通过弹簧对第二引弧杆的缓冲，实现了引弧杆的缓冲功能，从而避免了引弧杆与耙材接触时容易对靶材造成冲击的问题，提高了靶材的稳定性。两个引弧杆通连接套连接，实现了两个引弧杆的可拆卸连接。在对引弧杆进行维护时，只需将连接套旋下，然后将第二引弧杆从连接套中取下更换即可，简单方便，易于拆装。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；