[实用新型]一种晶圆反应腔去胶机的限位构件

权利要求书

1.一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，包括限位机构(10)；

其特征在于：

在限位机构(10)的上端两侧固定连接有滑轨(20)，且所述的滑轨(20)的内部滑动连接有调节机构(30)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，其特征在于：所述的调节机构(30)包括滑杆(32)与固定台(31)，所述的滑杆(32)贯穿所述的滑轨(20)与滑轨(20)的两侧滑动连接，且所述的固定台(31)连接在两组滑杆(32)之间，且安装在滑轨(20)之间的两组滑杆(32)保持同一水平位置安装，所述的滑杆(32)的两端连接有紧固件(33)，所述的紧固件(33)设置在贯穿滑轨(20)且延伸出滑轨(20)的滑杆(32)的一端，且紧固件(33)与滑轨(20)的外壁相抵接，所述的固定台(31)的上端设置有固定孔(34)，且所述的固定台(31)的上端连接有安装台(40)，所述的安装台(40)通过固定孔(34)与螺栓配合固定连接在固定台(31)的上端。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，其特征在于：所述的限位机构(10)包括安装导轨(11)以及安装板(13)，所述的安装导轨(11)安装在安装板(13)上端面两侧，所述的安装板(13)的两端固定连接有安装件(12)，所述的安装导轨(11)的内部设置有限位孔(111)，所述的限位孔(111)内部插接有限位销(50)，且所述的滑轨(20)安装在安装导轨(11)的内侧壁上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，其特征在于：所述的滑轨(20)包括滑槽(21)与固定脚件(22)，所述的滑槽(21)设置在固定脚件(22)上端的内部，所述的固定脚件(22)设置在滑轨(20)的底部，所述的固定脚件(22)的底部与所述的安装板(13)上端面固定连接，所述的固定脚件(22)的侧面与所述的安装导轨(11)的内侧固定连接，所述的滑杆(32)通过滑槽(21)贯穿滑轨(20)连接，所述的紧固件(33)套接在滑杆(32)的外部且紧固件(33)的内壁抵接在滑轨(20)的外壁上。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，其特征在于：所述的安装台(40)通过滑杆(32)滑动连接在滑轨(20)的内部，所述的紧固件(33)设置在限位孔(111)的正上方，所述的限位销(50)插接在限位孔(111) 的内部，且限位销(50)的外侧与紧固件(33)相互抵接，所述的限位销(50)分别抵接在两组滑杆(32)的两侧，且限位销(50)通过限位孔(111)进行固定。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，其特征在于：所述的限位机构(10)通过安装件(12)与外部连接部件固定安装，所述安装件(12)的内部设置有安装孔，所述的安装孔与螺栓配合固定。

7.根据权利要求4所述的一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，其特征在于：所述的滑轨(20)为Z字型连接滑轨，且所述的滑杆(32)的外侧贴合在所述的滑槽(21)的上下内壁。

8.根据权利要求4所述的一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，其特征在于：所述的紧固件(33)为螺旋连接件，所述的紧固件(33)的内壁设置有螺纹，所述的紧固件(33)与滑杆(32)之间螺旋连接。