[实用新型]翻片式硅片下片机

权利要求书

1.一种翻片式硅片下片机，其特征在于：包括下片室(1)、花篮升降机构(2)、花篮定位机构(3)、硅片推出机构(4)、硅片提升机构(5)、硅片翻面机构(6)、皮带输送机(7)、硅片定位盘(8)、平台(9)，所述下片室(1)内固定有硅片提升机构(5)、平台(9)、硅片翻面机构(6)，皮带输送机(7)穿过下片室(1)，硅片翻面机构(6)位于平台(9)和皮带输送机(7)之间，硅片提升机构(5)位于平台(9)上方，平台(9)一端固定有硅片推出机构(4)，平台(9)下方设有花篮升降机构(2)，花篮升降机构(2)的滑座上固定有花篮定位机构(3)，皮带输送机(7)的皮带上固定有硅片定位盘(8)。

2.根据权利要求1所述的翻片式硅片下片机，其特征在于：所述花篮升降机构(2)为线性模组。

3.根据权利要求1所述的翻片式硅片下片机，其特征在于：所述花篮定位机构(3)为卡盘。

4.根据权利要求1所述的翻片式硅片下片机，其特征在于：所述硅片推出机构(4)由单杆气缸和推板组成，单杆气缸的缸体固定在平台(9)上，单杆气缸的活塞杆上固定有推板。

5.根据权利要求1所述的翻片式硅片下片机，其特征在于：所述硅片提升机构(5)由升降气缸(51)、吸盘一(52)组成，升降气缸(51)的缸体固定在下片室(1)内，升降气缸(51)的活塞杆上固定有吸盘一(52)。

6.根据权利要求1所述的翻片式硅片下片机，其特征在于：所述硅片翻面机构(6)由旋转气缸(61)、吸盘二(62)组成，旋转气缸(61)的输出轴上固定有连接板，连接板上固定有吸盘二(62)。

7.根据权利要求1所述的翻片式硅片下片机，其特征在于：所述下片室(1)上滑配连接有用于封闭开口的门体(10)，门体(10)固定在气缸的活塞杆上，气缸的缸体固定在下片室(1)上。