[实用新型]低沸点电子气体密闭取样系统

说明书

本实用新型公开了一种低沸点电子气体密闭取样系统，涉及低沸点气体取样技术领域。低沸点电子气体密闭取样系统，包括取样瓶、吹扫置换系统和冷却系统；冷却系统包括冷却筒，冷却筒筒壁设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒，外部管线上装有循环泵，冷却筒中装有取样瓶；取样瓶两侧分别设有进气管和出气管，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统连接，吹扫置换系统包括高纯气体吹扫系统、样品气引入系统、吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统。本实用新型提出的取样系统实现不同种类低沸点电子气体的密闭取样，有效防止空气对产品造成污染。取样系统采用冷却筒对低沸点电子气体进行冷却液化富集，增大取样量。

技术领域

本实用新型涉及低沸点电子气体取样技术领域，尤其涉及一种低沸点电子气体密闭取样系统。

背景技术

电子气体指半导体延伸、离子注进、掺杂、腐蚀、洗涤等过程中使用到的一些化学气体。电子气体中有一些具有低沸点，高腐蚀性，有毒，与空气中的某些成分发生发应等。在取样过程中发生化学反应，极易被污染，泄漏对环境造成污染，影响人员健康。低沸点的电子气体在常温下是气态，必须进行密闭取样。由于极微量的污染对电子级的物料影响很大，因此取样系统必须保证洁净无污染。

密闭采样适用于石油化工装置中各种有毒、有害、易燃、易爆等危险性的中、低压气、液介质的取样。样品采集的真实性强，无残液、残气排放，有效地防止有毒有害介质对使用者的损伤，同时也避免造成环境污染，以及易燃易爆介质在采样时可能造成的危险事故。一般气体密闭采样采集样品为气态，由于需要大量的样品进行检测，气体样品一般通过加压进行液化，压力过高安全隐患较大，对样品瓶强度要求较高。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种低沸点电子气体密闭取样系统，采用简单的冷却系统在常温常压条件下将样品液化，对气体样品进行富集，装置安全性强。

为实现此技术目的，本实用新型采用如下方案：一种低沸点电子气体密闭取样系统，包括取样瓶、吹扫置换系统和冷却系统；冷却系统包括冷却筒，冷却筒筒壁设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒，外部管线上装有循环泵，冷却筒中装有取样瓶；取样瓶包括瓶盖和瓶体，瓶盖两侧分别设有进气管和出气管，进气管和出气管上分别装有气管开关阀，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统的主管路连接，两个三通阀门间通过管道连接；取样瓶进气管的三通阀门外侧设有质量流量计；吹扫置换系统的主管路上装有气动阀和压力传感器，气动阀与压力传感器间的主管路上设有吹扫气检测系统，气动阀与质量流量计间的主管路上设有样品气引入系统和高纯气体吹扫系统，压力传感器右侧设有废气排出系统和真空系统；高纯气体吹扫系统、样品气引入系统、吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统分别设有气动阀，高纯气体吹扫系统在气动阀前设有气体过滤器和气动微漏阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型提出的取样系统实现不同种类低沸点电子气体的密闭取样，有效防止空气对产品造成污染。取样系统采用冷却筒对低沸点电子气体进行冷却液化富集，增大取样量；同时吹扫置换系统设有质量流量计，保证取样精准度；安装有压力传感器，实时监控系统压力，防止压力过大对系统造成伤害；采用气动阀门，便于实现取样过程的远程控制，增加操作安全性。

本实用新型的优选方案为：

取样瓶内设有与进气管连通的进气支管，进气支管出口位于瓶体下部。

取样瓶瓶体为全氟烷氧基树脂材质，瓶体耐腐蚀，外渗量少不易污染取样液体，同时瓶体透明，便于观察取样液体的情况。

冷媒为乙二醇冷冻液或液氮，根据取样气体的沸点不同配置不同温度的冷媒。

吹扫置换系统入口设有气体纯化器，确保进入系统吹扫气体的纯度，防止管路污染。