[实用新型]一种硅片上料装置

权利要求书

1.一种硅片上料装置，其特征在于，包括：

基座；

多块挡板，所述挡板安装在所述基座上，且挡板围绕形成上端开口的装配区；

两条滑行槽，所述滑行槽分别设置在所述装配区相对的两侧面上；

滑行单元，所述滑行单元安装在所述基座上，且滑行单元与所述滑行槽相配合；

驱动单元，所述驱动单元安装在所述装配区内，且驱动单元与所述滑行单元连接带动滑行单元沿着滑行槽来回运动。

2.根据权利要求1所述的一种硅片上料装置，其特征在于，所述滑行单元包括：

支撑板，所述支撑板两侧分别设置于所述滑行槽内部；

两个U型取料架，所述U型取料架分别安装在支撑板相对的两侧。

3.根据权利要求2所述的一种硅片上料装置，其特征在于，所述驱动单元包括：

驱动电机，所述驱动电机安装在所述支撑板下方；

主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述驱动电机的输出端；

两根齿条，所述齿条间隔安装在所述基座上；

从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述支撑板下方，且从动齿轮与所述主动齿轮啮合；

传动轴，所述传动轴穿设在所述从动齿轮内部；

两个传动齿轮，所述传动齿轮分别安装在所述传动轴的两端，且传动齿轮与所述齿条啮合。

4.根据权利要求3所述的一种硅片上料装置，其特征在于，所述齿条与所述滑行槽相互平行。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种硅片上料装置，其特征在于，还包括两个盛料单元，所述盛料单元位于所述装配区内部，且盛料单元安装在所述基座两端。

6.根据权利要求5所述的一种硅片上料装置，其特征在于，所述盛料单元包括：

伸缩液压缸，所述伸缩液压缸安装在基座内部，且伸缩液压缸的活塞杆伸出所述基座表面；

升降板，所述升降板安装在所述伸缩液压缸的输出端；

料架，所述料架安装在所述升降板上。