[实用新型]一种硅麦基板加工用干燥装置有效

专利信息
申请号: 202022339425.9 申请日: 2020-10-20
公开(公告)号: CN213273514U 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 刘磊;王小波;郑强 申请(专利权)人: 无锡矽晶半导体科技有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B21/00;F26B21/04;F26B21/08;F26B25/00;F26B25/18
代理公司: 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 代理人: 杨立秋
地址: 214000 江苏省无锡市惠*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅麦基板加 工用 干燥 装置
【权利要求书】:

1.一种硅麦基板加工用干燥装置,包括干燥箱(1),其特征在于:所述干燥箱(1)的前侧壁铰接有密封门(2),所述干燥箱(1)的内腔中部设有若干放置网板(3),所述干燥箱(1)的左右两侧壁上下两侧对称固定插接有加热布气盘(4),且下侧所述加热布气盘(4)的外侧壁上安装有抽风机(5),所述抽风机(5)的输入端连通有循环管(6),所述循环管(6)的上端与上侧所述加热布气盘(4)的内腔相连通,所述抽风机(5)的输出端与下侧所述加热布气盘(4)的内腔相连通;

所述加热布气盘(4)包括壳体(401)、布气孔(402)和加热网板(403),远离所述循环管(6)一侧的所述壳体(401)侧壁上开设有若干所述布气孔(402),所述壳体(401)的内腔内嵌设有所述加热网板(403);

所述加热布气盘(4)上还包括设置的除湿组件(7),所述除湿组件(7)包括拉板(701)、卡槽(702)、卡轨(703)和变色硅胶滤料板(704),所述壳体(401)的前后内侧壁对称设有所述卡槽(702),所述卡槽(702)内滑动卡接有所述卡轨(703),所述卡轨(703)对称设置于所述变色硅胶滤料板(704)的前后侧壁,所述变色硅胶滤料板(704)的上端设有所述拉板(701),所述拉板(701)与开设于所述壳体(401)顶部的通槽(705)相扣合。

2.根据权利要求1所述的一种硅麦基板加工用干燥装置,其特征在于:所述放置网板(3)设置的数量至少为五组,所述放置网板(3)为铝合金材质制成。

3.根据权利要求2所述的一种硅麦基板加工用干燥装置,其特征在于:所述放置网板(3)的外壁上镀覆有石墨烯涂层,且所述石墨烯涂层的厚度为5-10μm。

4.根据权利要求1所述的一种硅麦基板加工用干燥装置,其特征在于:所述布气孔(402)呈矩形陈列分布,且所述布气孔(402)的孔径为2-5μm。

5.根据权利要求1所述的一种硅麦基板加工用干燥装置,其特征在于:所述加热网板(403)为碳纤维加热网材质制成。

6.根据权利要求1所述的一种硅麦基板加工用干燥装置,其特征在于:所述通槽(705)的内壁还包括嵌设的隔热密封层,且所述隔热密封层为PVC弹性密封条材质制成。

7.根据权利要求1所述的一种硅麦基板加工用干燥装置,其特征在于:还包括设置于所述密封门(2)上的控制面板(8)、设置于所述干燥箱(1)的内腔底部的温度传感器(9),所述控制面板(8)分别与所述抽风机(5)、所述加热网板(403)和所述温度传感器(9)电性相连。

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