[实用新型]一种尾气无害化处理的环保型扩散炉

说明书

本实用新型公开了一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，包括壳体、石英管和送料腔，所述送料腔内部一侧的下端安装有冷凝箱，且安装槽之间的壳体内部下端均竖向设置有活性炭板，所述冷凝箱顶端的壳体内部上端均匀开设有石英管，且限位环内部均横向滑动连接有延伸至石英管外部的送气管，且石英管一侧的壳体内部上端安装有储气罐，且进料口一侧的壳体内部上端均匀开设有送料腔，且气动伸缩杆的输出端均延伸至送料腔内部并安装有铝门板，所述铝门板的一侧均设置有石英门。本实用新型通过设置换热管和活性炭板，利用换热管和活性炭板消除尾气中的热量和有毒物质，避免尾气污染环境，实现无公害处理。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，具体为一种尾气无害化处理的环保型扩散炉。

背景技术

随着社会的发展，我国科技的快速发展，使得半导体制造业愈加成熟，其中扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，但是现有的环保型扩散炉还存在很多问题或缺陷：

第一，传统的环保型扩散炉，使用时没有缓冲结构，石英门与石英管接触时，易造成石英管的损坏；

第二，传统的环保型扩散炉，使用时没有调节出气口结构，送气管固定，导致出气口固定，反应效率较慢；

第三，传统的环保型扩散炉，使用时没有尾气处理结构，反应产生的尾气直接排放会造成污染。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，以解决上述背景技术中提出的不便缓冲、不便调节出气口和不能尾气处理的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，包括壳体、石英管和送料腔，所述送料腔内部一侧的下端安装有冷凝箱，且冷凝箱的内部铺设有换热管，所述冷凝箱一侧的壳体内部下端均匀安装有安装槽，且安装槽之间的壳体内部下端均竖向设置有活性炭板，所述冷凝箱顶端的壳体内部上端均匀开设有石英管，且石英管顶端和底端的壳体内部均匀安装有加热块，所述石英管内部的下端均铺设有排气管，且排气管的一端均通过导管与换热管一端连通，所述石英管内部的上端均匀安装有限位环，且限位环内部均横向滑动连接有延伸至石英管外部的送气管，所述送气管表面的石英管一侧均设置有调节结构，且石英管一侧的壳体内部上端安装有储气罐，所述储气罐顶端和底端均通过软管与送气管一端连通，所述石英管内部的另一侧均开设有进料口，且进料口一侧的壳体内部上端均匀开设有送料腔，所述送料腔一侧的壳体内部上端均安装有气动伸缩杆，且气动伸缩杆的输出端均延伸至送料腔内部并安装有铝门板，所述铝门板的一侧均设置有石英门，且石英门一侧的下端均横向安装有送料板，所述壳体底端靠近气动伸缩杆的一侧开设有出气口，且壳体靠近气动伸缩杆一侧的上端均匀安装有PLC控制器。

优选的，所述调节结构包括调节箱、调节杆、调节弹簧和调节板，所述调节箱均安装在送气管表面的石英管一侧上端，且调节箱的顶端和底端均竖向贯穿有调节杆，所述调节杆表面的一端均缠绕有调节弹簧，且调节杆的一端均安装有调节板。

优选的，所述换热管的形状为U型管结构，且换热管的顶端和底端均与冷凝箱内部顶端和底端焊接。

优选的，所述安装槽的一侧均横向贯穿有拉杆，且拉杆表面的一侧均缠绕有固定弹簧，所述拉杆的一端均安装有压块。

优选的，所述送料腔内部的顶端均横向开设有滑槽，且滑槽的内部均滑动连接有滑块，所述滑块的底端均与铝门板顶端焊接。

优选的，所述铝门板内部的一侧均匀开设有缓冲槽，且缓冲槽内部的一侧均安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧一端均安装有延伸至铝门板外部的缓冲块，且缓冲块的一端均与石英门一侧焊接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：