[实用新型]一种有编织埚底的坩埚

说明书

本实用新型涉及一种有编织埚底的坩埚，所述坩埚包括埚邦和埚底，所述埚底为一碗形网状体，用一根或多根碳纤维绳编织而成，所述埚底包括碗体部和碗底部。本申请采用碳纤维绳编织而成，不需要针刺预制体，埚底的碗底部密实处理，加强了埚底的支撑强度。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种碳纤维复合材料的应用，具体涉及一种采用碳纤维复合材料编织制作埚底的坩埚。

背景技术

在单晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(CZ法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在制造设备中，有一个部件是石墨坩埚，它是用来承载内部的石英坩埚的。在使用过程中，由于石英坩埚和石墨坩埚的膨胀系数不同，而且硅蒸汽与石墨会产生侵蚀反应的原因，存在石墨坩埚龟裂、侵蚀失强等问题。而且，随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也越做越大，这样对热场的可靠性也要求越来越高。由于石墨坩埚强度的局限性，直径越大那么其壁厚要求也越大，所以重量很重，而且热容很高，导致操作笨重，耗能增加，成本提高。

作为不使用大尺寸石墨坩埚的技术，已经有申请人提出了包括通过长丝卷绕法使碳纤维成形为坩埚形状、用树脂或沥青作为基质将其浸渍、然后进行烧制以制造由碳/碳纤维复合材(以下称为C/C复合材)制成的坩埚的技术，以及包括将碳纤维布贴附在成形模上、进行成型和固化以获得碳纤维强化型塑料、然后浸渍并烧制以制造由C/C复合材制成的坩埚的技术等等。例如专利号200910118210.X公开了一种中空网状体的坩埚保持部件，利用多根绳股编织，形成网状体的坩埚保持部件；但是这些编织形成的坩埚，都必须经过加入粘结剂、高温碳化、气相沉积的加工步骤，非常浪费时间，但是这些坩埚的边缘都没有做加强处理，而且没有表面涂层处理，这样在使用过程中，坩埚的边缘部分非常容易腐蚀，导致强度不够。另外，现有技术埚底的支撑强度还可以加强。

因此，现有技术的坩埚还有提升的地方。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种碳纤维复合材料编织埚底的坩埚，利用表面涂层，以及密实埚底的碗底部，以解决现有技术的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下的技术方案：

一种有编织埚底的坩埚，所述坩埚包括埚邦和埚底，所述埚底为一碗形网状体，所述埚底包括碗体部和碗底部，所述碗底部采用密实状编织。

依照本申请较佳实施例所述的坩埚，所述碗底部密实状编织的网状体包括一部分从圆心向外放射的一根或多根碳纤维绳以及一部分环绕成圆形的一根或多根碳纤维绳，从圆心向外放射的一根或多根碳纤维绳一时间在环绕成圆形的一根或多根碳纤维绳的上方，一时间在环绕成圆形的一根或多根碳纤维绳的下方交叉连接呈密实状。

依照本申请较佳实施例所述的坩埚，所述碗底部密实状编织的网状体包括第一群碳纤维绳和第二群碳纤维绳；组成所述第一群碳纤维绳的碳纤维绳方向一致，组成所述第二群碳纤维绳的碳纤维绳方向一致；所述第一群碳纤维绳一时间在所述第二群碳纤维绳的上方，一时间在所述第二群碳纤维绳的下方交叉连接呈密实状。

依照本申请较佳实施例所述的坩埚，所述碗底部密实状编织的网状体包括至少二群碳纤维绳；第一群所述碳纤维绳中心交差编织从圆心向外成放射状，第二群碳纤维绳环绕第一群碳纤维绳连接呈密实状，从圆心向外放射的第一群碳纤维绳一时间在环绕成圆形的第二群碳纤维绳的上方，一时间在环绕成圆形的第二群碳纤维绳的下方交叉连接呈密实状。

依照本申请较佳实施例所述的坩埚，所述埚邦为一环形中空体。

依照本申请较佳实施例所述的坩埚，所述碗体部用一根或多根碳纤维绳编织而成，所述碗体部包括多数根轴向条，一根或多根所述碳纤维绳绕所述轴向条螺旋编织。

依照本申请较佳实施例所述的坩埚，所述轴向条与所述碳纤维绳螺旋编织方向的夹角为大于70度小于90度；所述轴向条被一根或多根碳纤维绳内外所包围，一时间在外、一时间在内交织连接。