[实用新型]电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统有效
| 申请号： | 202022353864.5 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213424921U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 赵高升;施月娥 | 申请（专利权）人： | 杭州蔚领知谱检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/14;H01J49/16 |
| 代理公司： | 北京中南长风知识产权代理事务所(普通合伙) 11674 | 代理人： | 郑海 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州市西湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 轰击 vuv 紫外 复合 离子源 系统 | ||
1.一种电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统，包括电离室(1)、紫外灯离子源(2)、电子轰击离子源(3)、聚焦电极(4)、引出电极(5)、样品进入孔(6)、光子进入孔(7)和电子入射孔(8)，其特征在于：所述电离室(1)的底部设置有紫外灯离子源(2)，所述电离室(1)的后侧设置有电子轰击离子源(3)，所述电离室(1)的右侧设置有聚焦电极(4)，所述聚焦电极(4)的右侧设置有引出电极(5)；
所述电离室(1)的前侧壁中心处均匀开设有样品进入孔(6)，且样品进入孔(6)的内腔后侧与电离室(1)的内腔相连通，所述电离室(1)的顶部开设有光子进入孔(7)，所述电离室(1)的前侧壁开设有电子入射孔(8)，且电子入射孔(8)和光子进入孔(7)均与电离室(1)的内腔相连通。
2.根据权利要求1所述的一种电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统，其特征在于：所述紫外灯离子源(2)为真空紫外灯光源，所述紫外灯离子源(2)采用V-UV波段的100-200nm波，所述紫外灯离子源(2)选用氙灯(9.6eV)、氪灯(10.6eV)或氩灯(11.7eV)。
3.根据权利要求1所述的一种电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统，其特征在于：所述电子轰击离子源(3)包括第一灯丝电极(301)，所述第一灯丝电极(301)的右侧设置有第二灯丝电极(302)，所述第二灯丝电极(302)的外壁和所述第一灯丝电极(301)的外壁之间固接有固定件(303)，所述第二灯丝电极(302)和第一灯丝电极(301)之间的前侧设置有灯丝(304)。
4.根据权利要求1所述的一种电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统，其特征在于：所述聚焦电极(4)上的中心处开设有第一聚焦孔(401)，所述第一聚焦孔(401)的内径为2～10mm。
5.根据权利要求1所述的一种电子轰击与VUV紫外灯复合离子源系统，其特征在于：所述引出电极(5)上的中心处开设有第二聚焦孔(501)，所述第二聚焦孔(501)的内径为2～10mm。
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