[实用新型]一种基于MEMS的压电式湿度传感器有效
申请号: | 202022354468.4 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN213986283U | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 周钢 | 申请(专利权)人: | 无锡三聚阳光知识产权服务有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 李博洋 |
地址: | 214001 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 mems 压电 湿度 传感器 | ||
1.一种基于MEMS的压电式湿度传感器,包括箱体(1),所述箱体(1)的内壁左侧连通有塑料板(2),所述箱体(1)的外壁左右两侧均加工有卡槽(3),所述箱体(1)的顶部贴合有箱体盖(4),所述箱体盖(4)的内壁顶部固接有橡胶圈(5),所述橡胶圈(5)的外壁与箱体(1)的内壁过盈配合,所述箱体(1)的内壁间隙配合有MEMS湿度传感器(6),所述MEMS湿度传感器(6)通过导线(10)电性相连有输出端(11),所述输出端(11)固接于箱体(1)的内壁右侧,其特征在于:所述箱体(1)的顶部设有固定机构(7);
所述固定机构(7)包括卡杆(701)、第一扭力弹簧(702)和滑轮(703);
两个所述卡杆(701)分别通过连接轴与箱体盖(4)的顶部左右两侧转动相连,所述第一扭力弹簧(702)的内壁与连接轴的外壁间隙配合,所述第一扭力弹簧(702)的一端固接于箱体盖(4)的外壁,所述第一扭力弹簧(702)的另一端固接于卡杆(701)的外壁,两个所述卡杆(701)分别与两个卡槽(3)相卡接,两个所述卡杆(701)均通过连接轴转动相连有滑轮(703)。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式湿度传感器,其特征在于:所述塑料板(2)为透明状态。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式湿度传感器,其特征在于:所述箱体盖(4)的顶部设有触发机构(8);
所述触发机构(8)包括圆杆(801)、转块(802)、斜块(803)和把手(804);
所述圆杆(801)通过连接轴与箱体盖(4)转动相连,所述圆杆(801)的顶部固接有转块(802),所述转块(802)的外壁左右两侧均固接有斜块(803),两个所述斜块(803)的顶部分别与两个滑轮(703)的外壁底部相贴合,所述转块(802)的顶部固接有把手(804)。
4.根据权利要求3所述的一种基于MEMS的压电式湿度传感器,其特征在于:两个所述斜块(803)关于转块(802)轴对称分布。
5.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式湿度传感器,其特征在于:所述箱体(1)的内壁设有放置机构(9);
所述放置机构(9)包括横板(901)、竖板(902)、橡胶垫(903)和第二扭力弹簧(904);
所述横板(901)固接于箱体(1)的内壁左侧,所述横板(901)的顶部与MEMS湿度传感器(6)的底部相贴合,所述横板(901)通过连接轴转动相连有竖板(902),所述第二扭力弹簧(904)的内壁与连接轴的外壁间隙配合,所述第二扭力弹簧(904)的一端固接于竖板(902)的外壁,所述第二扭力弹簧(904)的另一端固接于竖板(902)的外壁,所述竖板(902)的左侧固接有橡胶垫(903),所述橡胶垫(903)的左侧与MEMS湿度传感器(6)的右侧相贴合。
6.根据权利要求5所述的一种基于MEMS的压电式湿度传感器,其特征在于:所述橡胶垫(903)的表面加工有磨纹。
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