[实用新型]混搅晶圆研磨液机台改进结构

权利要求书

1.一种混搅晶圆研磨液机台改进结构，混搅晶圆研磨液机台内置磅秤顶面的座架上托置混搅筒，且混搅筒壁上直接贴靠设置竖架，由竖架嵌置单行数列个传感器从混搅筒外壁感应筒内液位，于机台内对应混搅筒上方设有布管面板，以固定数行由气压管路引导开关阀开通的入料管路，使入料管路经混搅筒顶的套接头穿入混搅筒内，布管面板到混搅筒间的入料管路段呈弯道布设，其特征在于：从座架的顶围环壁锁设数个螺丝穿抵夹混搅筒加强固定，而竖架从座架旁地板面竖起，使传感器隔空近距感应混搅筒内液位，另将设在布管面板的各入料管路之开关阀两端，并联一由气压管路引导开关阀开通的细歧入料管路，并将布管面板到混搅筒间的入料管路段布设成直道，再于每一开关阀相接的气压管路引导末段中增设一快排阀，包夹入料管路的管外套帽与嵌于混搅筒顶入料口的入料口榇环所组成，管外套帽以留隙悬浮覆盖住入料口榇环，使入料管路浮动穿入混搅筒内，另于混搅筒底穿出搅拌泵的晶圆研磨液出料口管接开关阀下方增设拌出料缓冲结构。

2.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中各开关阀为气压引导动作的二位控制阀。

3.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中各快排阀均为开设有一接口、一送口，及一泄口的梭动阀体，装入气压管路引导末段中的结构布设，将接口管接至对应只导引气压控制阀出气端，而送口接至对应只开关阀受导气端，将泄口直接放空，当导引气压控制阀将引导气流往对应只开关阀顺向流出导引气时，气流就经接口再经送口送往对应只开关阀受导气端送，而当导引气压控制阀关闭流往对应只开关阀导引气时，从对应只开关阀受导气端产生之导引余气就由送口产生逆流气压封堵接口，同时逆流推开泄口直接往大气泄排。

4.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中管外套帽中央形成紧密包夹入料管路的夹管环，于夹管环顶向外围平展伸出防尘环板，从防尘环板外围向下凸出侧挡环，于夹管环与侧挡环之间形成环凹空间。

5.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中入料口榇环外壁以焊接方式紧密黏固于混搅筒的入料口，且入料口榇环外壁小于侧挡环内壁，至于入料口榇环内壁大于夹管环外壁得以将入料管路悬浮伸往入料口，并于临近入料口外适当距离之管身外束管外套帽，使管外套帽高过入料口榇环，且将整个入料口榇环包容于环凹空间下端，对入料口榇环产生顶面及环围都能防尘直侵的遮护。

6.如权利要求5所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中入料口榇环内壁形成内螺旋形状的多起伏壁面。

7.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中拌出料缓冲结构由一阀底垫、数个限位螺丝及一固定架所构成，该固定架底端固设于机台内底板对应位置，而阀底垫对应出料开关阀底部透伸出的数个固定螺杆位置开设数个螺孔，以锁固出料开关阀于阀底垫顶面，另于固定架(18)顶壁开设数个锁接孔，而阀底垫对应数个锁接孔处开设数个沿出晶圆研磨液出料口(3F)接管延伸方向拉长的长槽透孔，于每一长槽透孔中插设一限位螺丝，使限位螺丝头凸露出长槽透孔顶，且限位螺丝杆端锁入对应的锁接孔中。

8.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中所述磅秤为测取精度达一公克的精细量度磅秤。