[实用新型]一种高精度标尺线纹刻划系统

权利要求书

1.一种高精度标尺线纹刻划系统，包括机床(4)和闭环控制器(11)，其特征在于：机床(4)上设有微动工作台(6)，微动工作台(6)下设四个精密级钢球(2)，微动工作台(6)右边与微动元件(5)连接，微动工作台(6)左边通过球形圆柱(14)与弹簧连接，微动工作台(6)上面安装高精度纳米级光栅(9)，且待测标尺(7)置于微动工作台(6)上；机床(4)通过伺服电机(1)带动精密级丝杆(3)运动，伺服电机(1)与伺服驱动器组件(12)连接，伺服驱动器组件(12)与小伺服电机(13)连接，小伺服电机(13)与刻刀机构(8)连接，刻刀机构(8)限位开关位于待测标尺(7)上方；伺服驱动器组件(12)与闭环控制器(11)连接，闭环控制器(11)与微动元件(5)连接；所述闭环控制器(11)连接人机软件界面(10)；

所述刻刀机构(8)包括执行刀架滑板导轨组、十字弹性刀架和刀架手柄，执行刀架滑板导轨组采用点接触的形式，滑板(18)置于水平导轨氮化钢(16)上，滑板(18)底部和三个球面体接触，垂直氮化钢导轨(20)和滑板(18)也为球面接触，滑板(18)的一侧面的两个弹性滑块(15)和弹簧(17)组合使另一侧的固定球形滑块(19)与垂直氮化钢导轨(20)保持恒力接触，执行刀架(21)的抬落刀回转支撑，采用十字弹簧片(24)的结构形式，十字弹簧片(24)的另一端通过支架(22)和压板(23)固定，刻刀(25)抬刀或落刀的回转中心由十字弹簧片(24)的弹性形变来达到，即按十字弹簧片(24)的十字交叉线为回转中心，上下限量摆动；刀架机构单独安装在基座上，刀架机构的升降和横向移动都采用矩形导轨由研磨加工配研而成，即由横向固定把手(26)、横向移动手轮(27)、升降固定把手(28)和刀架升降手轮(29)控制。

2.如权利要求1所述的一种高精度标尺线纹刻划系统，其特征在于：所述精密级丝杆(3)螺距为1mm。

3.如权利要求1所述的一种高精度标尺线纹刻划系统，其特征在于：所述伺服驱动器组件(12)采用固高GTC-NC600六轴控制器，主轴移动和刻刀电机采用安川伺服电机SGM7G-09AFC61和SGM7J-01AFC6S，伺服驱动器SGD7S-R90A00A002和SGD7S-7R6A00B202。

4.如权利要求1所述的一种高精度标尺线纹刻划系统，其特征在于：所述高精度纳米级光栅(9)用激光干涉仪或光电显微镜配合高等级标尺替换。

5.如权利要求1所述的一种高精度标尺线纹刻划系统，其特征在于：所述十字弹簧片(24)的厚度为0.05—0.06mm。