[实用新型]晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头

说明书

本实用新型公开一种晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头，由一管外套帽及一入料口榇环所组成，其中管外套帽中央形成紧密包夹原料输送管的夹管环，于夹管环顶向外围平展伸出防尘环板，从防尘环板外围向下凸出侧挡环，于夹管环与侧挡环之间形成环凹空间，入料口榇环外壁紧密黏固晶圆研磨液混搅筒的入料口，且小于侧挡环内壁，至于入料口榇环内壁大于夹管环外壁，并为内螺旋形状，整个入料口榇环凸出入料口顶缘，并于临近入料口外的管身外束管外套帽，使管外套帽高过入料口榇环，且将整个入料口榇环包容于环凹空间下端产生防尘遮护。解决了晶圆研磨液混搅筒的原料输送管与入料口之间，仰赖无空隙塞头套接无法防止侧向力引发原料输送精准度失准的缺失。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头，尤指一种新颖兼具防尘污染质量，能以悬浮管段自身材料应变弹性吸收原料流动引发之侧向力，解决习见晶圆研磨液混搅筒之原料输送管与入料口之间，仰赖无空隙塞头连接无法防止侧向力引发原料输送精准度失准缺失。

背景技术

对搅拌设备来说，在其搅拌筒内拌和合原料部位，由搅动运动产生的振动是必要的，对原料细分拌匀有所帮助也能加快搅拌完成时间，但对搅拌筒周围其他构件产生传来的振动，反而造成搅拌性能跟搅拌质量干扰，例如高度自动化地搅拌设备在原料输送管送原料到搅拌筒中，因原料流动引发的侧向力会造成管壁振动，此突冒的振动震波可能侵扰所要振动搅拌的震波，使所要的搅拌震波迭成不可预期的畸形波，甚至抵减削弱振动搅拌的震波，也可能会传到设备内的量秤或回测搅拌筒内搅拌量的传感器等等需静置才能稳定作用的精密组件，造成搅拌份量精度失准，尤其是越来越自动精密生产的晶圆切磨作业，越细究丝毫不必要的振动，必须将不必要的振动一一消除，才能生产出更精准配方的晶圆研磨液提供更先进的晶圆切磨制程施行更精密细微切磨。

然而，现有混搅晶圆研磨液机台正有原料流动引发的侧向力会造成管壁振动出不必要震波导致搅拌准度失真的问题，如图1所示，于混搅晶圆研磨液机台1内设有混搅筒2，于混搅筒2顶配管出垂向数原料输送管3,4，以穿过混搅筒2顶壁对应开设之入料口2A,2B进入筒内空间填料，详细构成，再同时参阅图2所示，于各原料输送管3与对应之入料口2A间仰赖无空隙塞头5套接，设置无空隙塞头5能产生防尘由穿管空隙飘入筒内污染拌出晶圆研磨液品质的效用，此无空隙塞头5由由一内塞体5A外套外塞体5B紧合而成，每当原料输送管3经入料口2A送入料流时，原料流动引发之侧向力会造成管壁振动，由于入料口2A中之原料输送管段3A受无空隙塞头5套夹固定，而原料输送管3穿入入料口2A之远程管身系配管到混搅筒2上方接管板面或机台顶壁固定(注：接管板面或机台顶壁固定之结构于图中省略未示)，使原料输送管3两头都为固体连接，而固体搭连传振性佳，造成如上所述影响搅拌及搅拌原料量精准度失准问题，不存在有效消抵侧向力以精进机台性能到先进的晶圆加工要求。

实用新型内容

有鉴于现有混搅晶圆研磨液机台原料流动有不能防止侧向力产生的缺失，本创作人乃积极构思解决之道，经过多次地实验探讨，终于有本创作产生。

因此，本创作提供一种晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头，由一管外套帽及一入料口榇环所组成，其中管外套帽中央形成紧密包夹原料输送管的夹管环，于夹管环顶向外围平展伸出防尘环板，从防尘环板外围向下凸出侧挡环，于夹管环与侧挡环之间形成环凹空间，而入料口榇环外壁紧密黏固晶圆研磨液混搅筒之入料口，且小于侧挡环内壁，至于入料口榇环内壁大于夹管环外壁，并可为内螺旋形状，整个入料口榇环凸出入料口顶缘，得以将原料输送管悬浮伸往入料口，并于临近入料口外适当距离之管身外束管外套帽，使管外套帽高过入料口榇环，且将整个入料口榇环包容于环凹空间下端产生防尘遮护，由此达到防尘飘入筒内污染晶圆研磨液品质之必要条件下，能以悬浮管段自身材料应变弹性吸收原料流动引发之侧向力，解决现有晶圆研磨液混搅筒的原料输送管与入料口之间，仰赖无空隙塞头套接无法消抵侧向力引发原料输送精准度失准的缺失，此为本创作的目的。

至于本创作的详细构造﹑应用原理﹑作用与功效，则参照下列依附图所作的说明即可得到完全的了解。

附图说明

图1为现有混搅晶圆研磨液机台的立体图。