[实用新型]基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置

权利要求书

1.基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，其特征在于，包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵、衰荡腔、激光器、主控制单元、激光控制单元和波长校准单元；

一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接，形成过滤通道；三级过滤器出气端连接真空泵进气端，真空泵出气端连接衰荡腔的进气端；衰荡腔的出气端设置针阀；衰荡腔一侧设置有用于检测光信号的探测器；探测器与主控制单元信号传递连接；

主控制单元控制连接激光控制单元，激光控制单元控制连接激光器；激光控制单元控制连接波长校准单元，波长校准单元控制连接激光器；

激光器设置在衰荡腔一侧。

2.根据权利要求1所述的基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，其特征在于，激光器为DFB激光器。

3.根据权利要求1所述的基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，其特征在于，衰荡腔两端设置高反镜，并用视窗密封；其中，高反镜的反射率大于99.99％。

4.根据权利要求1所述的基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，其特征在于，二级过滤器为微米级过滤器。

5.根据权利要求1所述的基于光腔衰荡技术的空气中气体监测装置，其特征在于，三级过滤器为纳米级过滤器。