[实用新型]一种测试平台及3D激光显微镜

说明书

本实用新型涉及激光显微镜技术领域，具体公开了一种测试平台及3D激光显微镜，其中，测试平台包括第一平台、第二平台、滑动组件以及锁紧件，第一平台的承载面与第二平台的承载面共面，滑动组件用于使第一平台与第二平台相互靠近或相互远离，锁紧件用于将第一平台与第二平台的相对位置锁定；第一平台与第二平台相对的两个面之间能固定竖直放置的待测样品。该测试平台能够适应不同尺寸的待测样品，且通过待测样品固定件，能将竖直放置的待测样品牢固地固定，以便于对待测样品的截面进行测量。

技术领域

本实用新型涉及激光显微镜技术领域，尤其涉及一种测试平台及3D激光显微镜。

背景技术

3D激光共聚焦显微镜分辨率可以达到0.001μm甚至更精细的分辨率水平，介于普通宽视野光学显微镜最大理论分辨率0.2μm和透射电子显微镜分辨率0.1nm之间，在半导体、光伏电池领域具有很多优势。晶硅太阳能电池工艺大多是在微米甚至亚纳米尺度范围，所以3D激光共聚焦显微镜在这一尺度范围内的二维(2D)轮廓、三维(3D)层次测量和分析的应用极为广泛。然而，目前3D激光共聚焦显微镜样品承载台面仅适用于电池片表面形貌观察或尺寸量测，而不适用于电池片截面测试分析，限制了显微镜一定的应用范围。

并且，现有的测试平台的尺寸有限，在测试尺寸较大的样品时样品容易发生倾斜，影响测试。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种测试平台，以解决相关技术中显微镜样品承载台无法承载较大尺寸待测样品、无法适用待测样品截面测试的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，本实用新型提供一种测试平台，该测试平台包括第一平台、第二平台、滑动组件以及锁紧件，所述第一平台的承载面与所述第二平台的承载面共面，所述滑动组件用于使所述第一平台与所述第二平台相互靠近或相互远离，所述锁紧件用于将所述第一平台与所述第二平台的相对位置锁定；所述第一平台与所述第二平台相对的两个面之间能固定竖直放置的待测样品。

可选地，所述第一平台与所述第二平台相对的两个面中至少一个面设置有气孔，所述气孔与吸气供气装置连通，所述气孔能吸附所述待测样品。

可选地，所述气孔设置有多个，每个所述气孔均单独连接有进出气的管路，每个所述管路均设有开关，所述开关用于控制所述管路的通断。

可选地，所述第一平台与所述第二平台相对的两个面中至少一个面设置有第一螺纹通孔，顶紧螺钉穿过所述第一螺纹通孔后能与所述待测样品抵接。

可选地，所述滑动组件包括滑座与滑块，所述滑块能够沿所述滑座滑动，所述滑座与所述第一平台固接，所述滑块与所述第二平台固接，所述锁紧件能固定所述滑座与所述滑块。

可选地，所述锁紧件为锁紧螺钉，所述滑块设有第二螺纹通孔，所述锁紧螺钉穿过所述第二螺纹通孔后能与所述滑座抵接。

可选地，所述锁紧螺钉远离所述滑块的一端设有手柄。

可选地，所述第一平台与所述第二平台的承载面均设有固定组件，所述固定组件用于固定所述待测样品。

可选地，所述第一平台与所述第二平台均为半圆柱体结构，所述第一平台与所述第二平台相对贴合后能形成一个圆形承载面。

另一方面，本实用新型提供一种3D激光显微镜，包括上述任一方案中的测试平台。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种测试平台，该测试平台通过能够相互分离或靠近的第一平台与第二平台，使得测试平台的尺寸可调，能够适应不同尺寸的待测样品。

在测试待测样品的截面时，通过待测样品固定件，能将竖直放置的待测样品牢固地固定，以便于对待测样品的截面进行测量与分析。

附图说明