[实用新型]一种锁紧装置

权利要求书

1.一种锁紧装置，用于按设定压力锁紧多个叠摞在一起的晶棒，以备晶棒间的粘接，其特征在于，包括

承载部，用于承载叠摞在一起的晶棒；

锁紧机构安装台，所述锁紧机构安装台位于所述承载部上方并与所述承载部之间形成叠摞晶棒的放置空间，所述锁紧机构安装台上具有锁紧机构安装位；

锁紧机构，所述锁紧机构固设于所述锁紧机构安装位，所述锁紧机构包括压紧部，所述压紧部具有压紧位于承载部的叠摞晶棒的第一位置和松脱位于承载部的叠摞晶棒的第二位置。

2.根据权利要求1所述锁紧装置，其特征在于，

所述锁紧机构安装位具有限位通孔，所述锁紧机构还包括第一杆体和具有所述压紧部的压紧结构体，所述压紧结构体位于所述锁紧机构安装台的下方且与所述第一杆体的第一端固连设置、铰接设置或一体化设置，所述第一杆体的中部与所述限位通孔套装设置并能相对所述承载部往复移动，以使所述压紧部具有所述第一位置和所述第二位置。

3.根据权利要求2所述锁紧装置，其特征在于，

所述锁紧机构还包括第二杆体，所述锁紧机构安装台还具有位于所述限位通孔一侧的第二杆体支撑部，所述第二杆体的第一端与所述第一杆体的第二端铰链连接，所述第二杆体的中部与所述第二杆体支撑部铰链连接，当下压所述第二杆体的第二端时，所述压紧部朝远离所述承载部的方向移动。

4.根据权利要求3所述锁紧装置，其特征在于，

所述锁紧机构安装台经过支撑结构体固设于所述承载部的正上方，所述第一杆体上设有第一限位部，所述第一限位部位于所述限位通孔的下方，于所述第一限位部与所述锁紧机构安装台之间设有弹性件，所述弹性件促使所述压紧部朝所述承载部的方向移动设置。

5.根据权利要求4所述锁紧装置，其特征在于，

所述第一杆体上还设有第二限位部，所述第二限位部位于所述限位通孔的上方，以使所述压紧结构体位于设定的位置区域。

6.根据权利要求5所述锁紧装置，其特征在于，

所述第一杆体包括设定长度的螺纹杆部，所述第二限位部与所述螺纹杆部螺纹连接，所述第二限位部于所述螺纹杆部上位置可调设置。

7.根据权利要求1所述锁紧装置，其特征在于，

所述锁紧机构包括伸缩缸，所述伸缩缸的缸体固设于所述锁紧机构安装台，所述伸缩缸的伸缩杆具有朝所述承载部移动的第一运动状态和朝远离所述承载部的方向移动的第二运动状态，所述锁紧装置还包括压紧结构体，所述压紧结构体与所述伸缩杆的外伸端固连设置、铰接设置或一体化设置。

8.根据权利要求1所述锁紧装置，其特征在于，

所述锁紧机构包括齿轮、齿条传动单元和压紧结构体，所述压紧结构体与所述齿条的一端固连设置、铰接设置或一体化设置，所述齿轮与所述齿条传动设置，当所述齿轮朝第一方向转动时，所述压紧结构体朝所述第一位置方向移动，当所述齿轮朝第二方向转动时，所述齿条朝所述第二位置方向移动。

9.根据权利要求8所述锁紧装置，其特征在于，

所述锁紧机构还包括驱动装置，所述齿轮受所述驱动装置驱动，所述驱动装置设为能够双向转动的电机。

10.根据权利要求1至9中任一项所述锁紧装置，其特征在于，

所述承载部能承载至少一摞晶棒，且所述压紧部设为能够锁紧至少一摞晶棒的压紧部。