[实用新型]—种金刚石MPCVD设备用冷却装置有效
申请号: | 202022370248.0 | 申请日: | 2020-10-22 |
公开(公告)号: | CN214004782U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 满卫东;龚闯;朱长征;吴剑波;蒋梅荣 | 申请(专利权)人: | 上海征世科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/511 | 分类号: | C23C16/511;C23C16/27;F25D31/00 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 周琼 |
地址: | 201799 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 mpcvd 备用 冷却 装置 | ||
本实用新型提供—种金刚石MPCVD设备用冷却装置,涉及冷却装置技术领域,包括主机体,主机体的一侧侧壁开设有散热孔,主机体的侧壁活动连接有散热箱,散热箱靠近主机体的一侧侧壁固定安装有散热中空柱,散热箱的内部固定连接有冷却散热装置,冷却散热装置的内部设置有卡扣组件。本实用新型,可以将风冷的散热与水冷的冷却相互配合,提高了散热效果,散热箱搭配散热中空柱的设定使整个金刚石MPCVD设备用冷却装置以外部插设的形式进行连接,避免了金刚石MPCVD设备用冷却装置损坏时因拆装而耗费的人力物力,随时更换的情况让金刚石MPCVD设备用冷却装置的拆装变得简单,使在需要对水泵进行更换或清洗时的拆装变得方便快捷。
技术领域
本实用新型涉及冷却装置技术领域,尤其涉及—种金刚石MPCVD设备用冷却装置。
背景技术
金刚石具有高硬度,高弹性模量,良好的导热性能与化学稳定性,以及其低摩擦系数,耐腐蚀等优点,使其成为现代机械加工中较为理想的涂层材料。目前制备金刚石薄膜制备方法主要有化学气相沉积(CVD)和高温高压合成两种方法,而在金刚石MPCVD设备运转中会产生高温,所以就有了金刚石MPCVD设备用冷却装置。
传统的金刚石MPCVD设备用冷却装置多采用单一的冷却方式,冷却效果不是很有效,部分金刚石MPCVD设备用冷却装置安置在金刚石MPCVD设备的内部,损坏时拆装不便,对拆装的技术要求较高,而外用式的金刚石MPCVD设备用冷却装置往往散热效果不明显。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的—种金刚石MPCVD设备用冷却装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:—种金刚石MPCVD设备用冷却装置,包括主机体,其特征在于:所述主机体的一侧侧壁开设有散热孔,所述主机体的侧壁活动连接有散热箱,所述散热箱靠近主机体的一侧侧壁固定安装有散热中空柱,所述散热箱的内部固定连接有冷却散热装置,所述冷却散热装置的内部设置有卡扣组件。
所述冷却散热装置包括连接块,所述连接块固定安装在散热箱的外表面,所述连接块靠近散热箱的侧壁固定安装有电机,所述电机的输出端转动连接有转动轴,所述转动轴远离电机的一端贯穿散热箱并延伸至散热箱的内部,所述转动轴位于散热箱内部的一端固定安装有扇叶,所述散热箱靠近散热中空柱的一侧内壁固定安装有散热铜管,所述散热铜管的一端连通有蓄水罐,所述蓄水罐的顶端连通有罐体连接管,所述罐体连接管的另一端连通有水泵。
优选的,所述卡扣组件包括铜管连接管与水泵连接管,所述铜管连接管的一端内壁套设在散热铜管一端的外表面,所述水泵连接管外表面套设在水泵出水口的内壁,所述铜管连接管的另一端开设有卡槽,所述卡槽的内部开设有滑动槽,所述水泵连接管的另一端固定安装有滑动块,所述滑动块的顶端固定安装有卡块,所述铜管连接管靠近卡槽一端的外表面固定安装有压动块,所述压动块的两端均开设有矩形槽,矩形槽的内壁滑动连接有U型压块,所述U型压块位于压动块的一侧螺纹连接有压动螺栓。
优选的,所述罐体连接管的一端连通在蓄水罐的顶端,所述罐体连接管的另一端外表面套设在水泵进水口的内壁,所述蓄水罐通过连接管与水泵连通。
优选的,所述散热箱的前后两侧外表面均开设有气孔,所述散热中空柱的外表面与散热孔的内壁大小相适配。
优选的,所述卡块的外表面与卡槽的内壁大小相适配,所述滑动块的外表面与滑动槽的内壁大小相适配。
优选的,所述压动螺栓的顶端固定安装有防滑块,所述压动螺栓的底端固定安装有压块,所述U型压块的内壁与铜管连接管、水泵连接管的外表面大小相适配。
与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的