[实用新型]—种金刚石MPCVD设备用冷却装置有效

专利信息
申请号: 202022370248.0 申请日: 2020-10-22
公开(公告)号: CN214004782U 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 满卫东;龚闯;朱长征;吴剑波;蒋梅荣 申请(专利权)人: 上海征世科技股份有限公司
主分类号: C23C16/511 分类号: C23C16/511;C23C16/27;F25D31/00
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 周琼
地址: 201799 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 金刚石 mpcvd 备用 冷却 装置
【说明书】:

实用新型提供—种金刚石MPCVD设备用冷却装置,涉及冷却装置技术领域,包括主机体,主机体的一侧侧壁开设有散热孔,主机体的侧壁活动连接有散热箱,散热箱靠近主机体的一侧侧壁固定安装有散热中空柱,散热箱的内部固定连接有冷却散热装置,冷却散热装置的内部设置有卡扣组件。本实用新型,可以将风冷的散热与水冷的冷却相互配合,提高了散热效果,散热箱搭配散热中空柱的设定使整个金刚石MPCVD设备用冷却装置以外部插设的形式进行连接,避免了金刚石MPCVD设备用冷却装置损坏时因拆装而耗费的人力物力,随时更换的情况让金刚石MPCVD设备用冷却装置的拆装变得简单,使在需要对水泵进行更换或清洗时的拆装变得方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及冷却装置技术领域,尤其涉及—种金刚石MPCVD设备用冷却装置。

背景技术

金刚石具有高硬度,高弹性模量,良好的导热性能与化学稳定性,以及其低摩擦系数,耐腐蚀等优点,使其成为现代机械加工中较为理想的涂层材料。目前制备金刚石薄膜制备方法主要有化学气相沉积(CVD)和高温高压合成两种方法,而在金刚石MPCVD设备运转中会产生高温,所以就有了金刚石MPCVD设备用冷却装置。

传统的金刚石MPCVD设备用冷却装置多采用单一的冷却方式,冷却效果不是很有效,部分金刚石MPCVD设备用冷却装置安置在金刚石MPCVD设备的内部,损坏时拆装不便,对拆装的技术要求较高,而外用式的金刚石MPCVD设备用冷却装置往往散热效果不明显。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的—种金刚石MPCVD设备用冷却装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:—种金刚石MPCVD设备用冷却装置,包括主机体,其特征在于:所述主机体的一侧侧壁开设有散热孔,所述主机体的侧壁活动连接有散热箱,所述散热箱靠近主机体的一侧侧壁固定安装有散热中空柱,所述散热箱的内部固定连接有冷却散热装置,所述冷却散热装置的内部设置有卡扣组件。

所述冷却散热装置包括连接块,所述连接块固定安装在散热箱的外表面,所述连接块靠近散热箱的侧壁固定安装有电机,所述电机的输出端转动连接有转动轴,所述转动轴远离电机的一端贯穿散热箱并延伸至散热箱的内部,所述转动轴位于散热箱内部的一端固定安装有扇叶,所述散热箱靠近散热中空柱的一侧内壁固定安装有散热铜管,所述散热铜管的一端连通有蓄水罐,所述蓄水罐的顶端连通有罐体连接管,所述罐体连接管的另一端连通有水泵。

优选的,所述卡扣组件包括铜管连接管与水泵连接管,所述铜管连接管的一端内壁套设在散热铜管一端的外表面,所述水泵连接管外表面套设在水泵出水口的内壁,所述铜管连接管的另一端开设有卡槽,所述卡槽的内部开设有滑动槽,所述水泵连接管的另一端固定安装有滑动块,所述滑动块的顶端固定安装有卡块,所述铜管连接管靠近卡槽一端的外表面固定安装有压动块,所述压动块的两端均开设有矩形槽,矩形槽的内壁滑动连接有U型压块,所述U型压块位于压动块的一侧螺纹连接有压动螺栓。

优选的,所述罐体连接管的一端连通在蓄水罐的顶端,所述罐体连接管的另一端外表面套设在水泵进水口的内壁,所述蓄水罐通过连接管与水泵连通。

优选的,所述散热箱的前后两侧外表面均开设有气孔,所述散热中空柱的外表面与散热孔的内壁大小相适配。

优选的,所述卡块的外表面与卡槽的内壁大小相适配,所述滑动块的外表面与滑动槽的内壁大小相适配。

优选的,所述压动螺栓的顶端固定安装有防滑块,所述压动螺栓的底端固定安装有压块,所述U型压块的内壁与铜管连接管、水泵连接管的外表面大小相适配。

与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,

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