[实用新型]一种玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机

权利要求书

1.一种玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：包括用于传送晶圆片的自动传输系统、自动擦粉系统、物料回收系统、真空及排风系统；

所述自动擦粉系统设置在所述自动传输系统的部分传输路径上，所述晶圆片在传输过程中穿过所述自动擦粉系统，所述自动擦粉系统对所述晶圆片实施擦粉处理，自动擦粉系统包括擦粉仓和设于所述擦粉仓内的擦粉机构，所述擦粉机构包括行星齿轮组和用以连接擦粉专用滤纸的强磁体；所述行星齿轮组包括顶板、底板、主动齿轮和若干依次套设的行星组，所述主动齿轮可绕自身中心轴转动的安装于顶板和底板之间，所述行星组包括若干行星齿轮和齿圈，所述若干行星齿轮和主动齿轮或齿圈啮合且均匀分布，行星齿轮可绕自身中心轴转动的安装于顶板和底板之间，齿圈可绕自身中心轴转动的安装于顶板，所述底板包括若干底板本体，所述底板本体设于齿圈之间且活动连接于齿圈；

所述真空及排风系统设置在所述自动传输系统的整个传输路径上，其能够对所述晶圆片被实施所述擦粉处理后产生的粉末进行吸附收集；

所述物料回收系统与所述真空及排风系统之间机械连接，所述物料回收系统用于回收所述真空及排风系统吸附收集后所得到的所述粉末。

2.根据权利要求1所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：所述自动传输系统包括传输带和传输电机，所述传输带上设有用于固定若干所述晶圆片的固持部件，所述传输电机用于驱动所述传输带运转，以实现所述晶圆片沿上游至下游的传输方向输送。

3.根据权利要求1所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：所述主动齿轮和行星齿轮的转轴开设有吹风通孔，所述吹风通孔连通吹风机构用以吹动粉尘。

4.根据权利要求1所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：还包括旋转机构，所述旋转机构包括旋转转轴和连接架，所述连接架规定与所述顶板上端，所述旋转转轴下端连接连接架，旋转转轴上端可转动的安装于擦粉仓用以驱动行星齿轮组旋转。

5.根据权利要求4所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：还包括用以移动行星齿轮组的移动机构，所述移动机构包括相互啮合的齿轮和齿条，所述齿轮套设于所述旋转转轴，所述齿条安装于擦粉仓。

6.根据权利要求5所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：所述齿条可远离或靠近所述齿轮的滑动安装于擦粉仓用以实现间歇式移动行星齿轮组。

7.根据权利要求4所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：所述旋转转轴为分段式设计，且相邻两段间设有弹性机构。

8.根据权利要求1所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：所述真空及排风系统包括设于所述自动传输系统下方的真空仓和抽真空部件，所述抽真空部件能够自动调节所述真空仓内部的真空度，以实现所述粉末被吸附进入所述真空仓内。

9.根据权利要求1所述的玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机，其特征在于：所述物料回收系统包括设置在所述自动擦粉系统对应传输路径下方的第一物料回收仓、和设置在所述自动擦粉系统上游对应传输路径下方的第二物料回收仓，所述第一物料回收仓和第二物料回收仓都具有圆锥腔体结构，所述第一物料回收仓和第二物料回收仓之间相互贯通；所述第一物料回收仓呈漏斗状设置，所述第一物料回收仓的上端开口与所述自动擦粉系统封闭连接，所述第一物料回收仓的下端开口为物料回收口。