[实用新型]一种新型靶材保护系统

说明书

本实用新型涉及一种新型靶材保护系统，其特征在于：包括挡片（16）和挡片开闭机构（1），两者位于第一腔室（2）中，所述挡片（16）位于靶材（13）与基片（21）之间，所述挡片（16）通过所述挡片开闭机构（1）实现开启或关闭。本实用新型通过传动机构推动挡片开合阻止大颗粒物质对靶材的影响以达到靶材保护的目的。并且操作方便，保护效果好，应用范围广等特点。

技术领域

本实用新型涉及一种保护系统，尤其是涉及一种新型靶材保护系统。

背景技术

离子发生器发射的离子束作用在基片上，对基片进行镀膜的工艺。

具体来说：依靠动量交换作用使固体材料的原子、分子进入气相状态，溅射出的平均能量10eV，高于真空蒸发粒子的100倍左右，使其沉积在基体表面上。作用是镀膜。

当离子源释放的离子束作用与基片，靶材需要被保护，但是现有技术中对靶材进行保护的系统存在结构复杂、操作不方便和保护效果不佳等缺陷。

实用新型内容

本实用新型设计了一种新型靶材保护系统，其解决的技术问题是现有技术中对靶材进行保护的系统存在结构复杂、操作不方便和保护效果不佳等缺陷。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型采用了以下方案：

一种新型靶材保护系统，包括挡片（16）和挡片开闭机构（1），两者位于第一腔室（2）中，所述挡片（16）位于靶材（13）与基片（21）之间，所述挡片（16）通过所述挡片开闭机构（1）实现开启或关闭。

优选地，所述挡片开闭机构（1）包括旋转电机（11）、螺纹旋转轴（14）以及齿轮（19），所述旋转电机（11）驱动所述螺纹旋转轴（14）旋转，所述螺纹旋转轴（14）通过螺纹与所述齿轮（19）的齿配合，所述齿轮（19）直接或间接与所述挡片（16）连接，所述螺纹旋转轴（14）旋转的过程中使得所述挡片（16）相对于所述靶材（13）开启或关闭。

优选地，所述挡片（16）固定在旋转片（15）上，所述旋转片（15）与所述齿轮（19）通过旋转块（18）连接。

优选地，所述齿轮（19）和所述挡片（16）分别为两个，每个所述齿轮（19）直接与一所述挡片（16）连接，两个所述齿轮（19）都与所述螺纹旋转轴（14）连接，两个所述挡片（16）在所述螺纹旋转轴（14）作用下关闭或开启。

优选地，所述齿轮（19）、所述旋转片（15）、所述旋转块（18）以及所述挡片（16）都为两个，两个所述齿轮（19）都与所述螺纹旋转轴（14）连接，两个所述挡片（16）在所述螺纹旋转轴（14）作用下关闭或开启。

优选地，所述第一腔室（2）设有一法兰（12），所述法兰（12）位于所述第一腔室（2）的一面与所述靶材（13）连接，所述螺纹旋转轴（14）穿过所述法兰（12）并且位于所述第一腔室（2）外部的一端与所述旋转电机（11）连接。

优选地，所述法兰（12）与所述靶材（13）之间还设有密封圈（17）

优选地，所述第一腔室（2）与第二腔室（4）通过管道（3）连接，所述第二腔室（4）中设有离子源。

优选地，所述挡片开闭机构（1）包括气缸，所述挡片（16）与所述第一腔室（2）内壁直接或间接铰接，所述气缸的气缸杆推动所述挡片（16）使得所述挡片（16）旋转并且相对于所述靶材（13）开启或关闭。

优选地，所述第一腔室（2）与第二腔室（4）通过管道（3）连接，所述第二腔室（4）中设有离子源。

该新型靶材保护系统具有以下有益效果：

（1）本实用新型通过传动机构推动挡片开合阻止大颗粒物质对靶材的影响以达到靶材保护的目的，并且操作方便，应用范围广等特点。