[实用新型]一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备

权利要求书

1.一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，包括沉积箱体的工作台上对应布置的固定架和支撑架，在固定架上设置有用于固定芯棒的夹头杆；其特征在于：

所述支撑架上设有用于实时监测芯棒重量的重力传感器；在工作台上安装有与重力传感器联系的沉积装置；

所述沉积装置中的控制器根据重力传感器实时反馈的重量来匹配各轴次喷料量，该沉积装置包括通过出料管向喷灯提供原料的供料单元，所述出料管上安装有压差传感器；

所述供料单元包括外料罐及外料罐内的内料罐；在内料罐中设有第一压力传感器、用于检测原料液体温度的第一温度传感器、用于检测原料蒸汽温度的第二温度传感器、以及用于对原料进行加热的加热棒；所述出料管上安装有第二压力传感器；

在外料罐底部设有出料口，内料罐底部设有能伸入出料口的顶针，在出料口上安装有进料管，该进料管上安装有第一控制阀。

2.根据权利要求1所述的一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，其特征在于：所述出料管在靠近与外料罐连接的部分安装第二控制阀，在靠近与喷灯连接的部分安装有第三控制阀。

3.根据权利要求2所述的一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，其特征在于：所述第二控制阀以及所述第三控制阀均采用气动阀。

4.根据权利要求1所述的一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，其特征在于：所述出料管上安装有过滤器。

5.根据权利要求1所述的一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，其特征在于：所述第一控制阀采用气动阀。

6.根据权利要求1所述的一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，其特征在于：所述夹头杆由伺服电机驱动，该伺服电机与控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的一种自动调整沉积速度匹配目标重量的OVD沉积设备，其特征在于：所述工作台上沿芯棒长度方向设有导轨，所述沉积装置的底座滑动安装在导轨上，通过驱动机构驱动底座在芯棒长度方向上往复运动。